壓電偏轉(zhuǎn)鏡 壓電偏擺鏡 壓電掃描器 行程120mrad,研生 中國制造 技術(shù)

二維納米級光束 壓電偏轉(zhuǎn)鏡 ║P35系列

P35系列是采用壓電陶瓷驅(qū)動的二維納米級精密光束壓電偏擺鏡，壓電偏擺鏡內(nèi)部使用無回差柔性鉸鏈并聯(lián)導(dǎo)向結(jié)構(gòu)，壓電偏轉(zhuǎn)鏡采用有限元分析優(yōu)化柔性鉸鏈結(jié)構(gòu)，緊湊的差分并聯(lián)結(jié)構(gòu)柔性導(dǎo)向系統(tǒng)具有的導(dǎo)向，且具有高剛性、高負(fù)載、無磨損、免維護(hù)等特點(diǎn)，偏轉(zhuǎn)角設(shè)計(jì)，偏轉(zhuǎn)范圍達(dá)120mrad，擺鏡內(nèi)置精密位移傳感器進(jìn)行全閉環(huán)的位置反饋，了壓電掃描器具有的運(yùn)動控制，定位、分辨率和穩(wěn)定性可以納米量級，定位穩(wěn)定時(shí)間為毫秒量級。緊湊型設(shè)計(jì)，可更好的集成于光學(xué)系統(tǒng)中?？筛鶕?jù)用戶需求定制安裝及出線方式。

產(chǎn)品特點(diǎn)：

◆ 緊湊的外形尺寸，結(jié)構(gòu)緊湊，易于集成；

◆ 擺角；

◆ 采用無摩擦、無回差緊湊的差分式并聯(lián)結(jié)構(gòu)柔性導(dǎo)向系統(tǒng)，具有的導(dǎo)向；

◆ 內(nèi)置的壓電陶瓷，高性；

◆ 內(nèi)置精密位移傳感器進(jìn)行全閉環(huán)位置反饋，開/閉環(huán)可供選擇，可提供定制安裝及出線方式。

產(chǎn)品應(yīng)用：

圖像處理/穩(wěn)定　　隔行掃描，抖動　　激光掃描　　光束偏擺/穩(wěn)定　　激光通信　　光過濾/轉(zhuǎn)換　　納米定位

       遼寧研生科技有限公司自主研發(fā)的產(chǎn)品涵蓋壓電陶瓷元件、疊堆壓電陶瓷、封裝型壓電陶瓷/促動器、壓電納米定位臺/掃描臺、壓電平移臺/升降臺/偏擺臺/旋轉(zhuǎn)臺、壓電光束偏轉(zhuǎn)鏡、壓電顯微掃描平臺、壓電物鏡聚焦/掃描器、壓電紅外微掃描器、壓電微操作鉗、壓電微分頭、壓電馬達(dá)/電機(jī)、壓電螺旋促動器、壓電點(diǎn)膠閥、壓電機(jī)床微進(jìn)給平臺、六軸并聯(lián)微位移定位系統(tǒng)、高位移傳感器、壓電陶瓷驅(qū)動/控制器、高微位移測量系統(tǒng)等幾十個(gè)系列產(chǎn)品。

       研生科技的納米級精密定位產(chǎn)品類型豐富，運(yùn)動自由度從一維至六維[X,Y,Z,θX, θY,θZ]，運(yùn)動行程從幾微米至幾千微米，承載能力從幾百克至幾百千克，推/拉力從幾牛頓至幾千牛頓，具有多種結(jié)構(gòu)類型如疊堆式結(jié)構(gòu)、嵌套式結(jié)構(gòu)以及性能更優(yōu)異的并聯(lián)式結(jié)構(gòu)等，定位、分辨率和穩(wěn)定性可以納米量級，定位穩(wěn)定時(shí)間為毫秒量級，主要技術(shù)指標(biāo)已國際水平，可地替代產(chǎn)品。

       研生科技的產(chǎn)品和技術(shù)主要應(yīng)用于前沿領(lǐng)域科學(xué)研究、半導(dǎo)體制造與檢測、生物顯微成像、精密光學(xué)系統(tǒng)、光電子對準(zhǔn)與封裝、光學(xué)跟蹤與掃描、精密加工、自動化等領(lǐng)域。廣泛服務(wù)于各高校、科研院所以及各類制造光學(xué)顯微檢測設(shè)備、激光加工設(shè)備、半導(dǎo)體IC設(shè)備、測量/檢測儀器、光電設(shè)備、光學(xué)儀器、設(shè)備、特種精密加工等的裝備制造商。