- 企業(yè)類型:貿(mào)易商
- 新舊程度:全新
- 原產(chǎn)地:瑞士
PhableR 100 紫外光刻機是一套低成本的光學(xué)曝光系統(tǒng),但卻能獲得高分辨率的周期性結(jié)構(gòu)。同傳統(tǒng)的紫外曝光機類似,涂覆了光刻膠的晶片以接近方式放置在掩膜版下面,被紫外光束照射。由于Eulitha公司擁有突破性的PHABLE曝光技術(shù),在"PHABLE"模式下,分辨率不再受到衍射的限制,從而曝光出亞微米的線性光柵和二維光柵(六角形和正方形),且曝光結(jié)果非常均勻,質(zhì)量很好;在"mask aligner"模式下,能非常輕松地獲得微米尺寸的圖形。
特點:
優(yōu)勢:
| PhableR 100革新性紫外光刻機 |
應(yīng)用:
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