石墨舟裝片冷卻一體機(jī)
主要特點(diǎn)
① 能夠與PECVD石墨舟承載車準(zhǔn)確定位；
② 采用SUS304不銹鋼制造，整機(jī)結(jié)構(gòu)堅(jiān)固；
③ 采用GK系列空氣過濾器；
④ 凈化風(fēng)機(jī)噪音小于50dB；
⑤ 工作區(qū)域內(nèi)所工藝的潔凈度。
⑥ PECVD承載車在里面可傾斜15度或旋轉(zhuǎn)180度;
冷卻功能
1. 能準(zhǔn)確的使石墨舟承載裝片定位。
2. 經(jīng)過濾的潔凈空氣有送風(fēng)機(jī)分散吹向石墨舟，石墨舟快速冷卻。
技術(shù)要求：
1. 整個冷卻房采用不銹鋼制作，整個設(shè)備堅(jiān)固。
2. 進(jìn)入吹風(fēng)的空氣須經(jīng)中效過濾網(wǎng)過濾。
3. 吹風(fēng)機(jī)兩臺，左右各一臺，風(fēng)量1000m3/h。
4. 頂部裝有吸風(fēng)罩和手動調(diào)節(jié)閥，可調(diào)節(jié)風(fēng)量和風(fēng)速。
5. 為節(jié)電效果，須安裝自控裝置，當(dāng)小車進(jìn)入冷卻房后自動啟動，冷卻到規(guī)定時(shí)間或小車離開冷卻房后自動停止。
6. 為被小車撞擊后移動，減震地腳選用能安裝膨脹螺釘?shù)牡啬_。
7. 凈化風(fēng)機(jī)噪音小于50dB；每個部位吹到。
8. 光電感應(yīng)自動吹風(fēng)，微電腦控制。
