一、技術參數(shù) 行程范圍：X軸------800 mm          Y軸------1000 mm             Z軸------600 mm 結構型式：活動橋式 傳動方式：柔性齒同步帶+預載荷高空氣軸承 長度測量系統(tǒng)：開放式光柵尺，分辨率為0.5 μm 機臺：高花崗巖平臺   使用環(huán)境：溫度(20±2)℃，濕度55%-65% ，溫度梯度1℃/m           溫度變化 1℃/h 空氣壓力：0.4 MPa - 0.5 Mpa 空氣流量：100 L/min – 120 L/min   整機尺寸：2.0m X 1.5 m X 2.7 m 機臺承重：1000 kg 整機重量：2000kg   探針測量系統(tǒng)： 1．控制軟件：SEREIN DMIS V2.0 2．操作方式：計算機自動控制＋微電腦操縱盒 3．測量不確定度（E）：（3.0+L/300） 二、機械特點 1．  整機設計采用單邊活動橋式結構，該結構緊湊，大幅降低了活動框架的重量，顯著了系統(tǒng)的運動性能，了測量及穩(wěn)定性。 2．  三軸導軌均采用天然花崗巖，使三軸具有相同的溫度特性，測量過程中良好的溫度穩(wěn)定性及剛性。 3．  三軸導軌均采用自潔式預載荷高空氣軸承，使運動更平穩(wěn)，導軌受磨損。 4．  長度測量系統(tǒng)采用英國 RENISHAW 的自粘開放式金屬光柵尺，使光柵尺與花崗巖基體的熱膨脹系數(shù)接近，從而設備的穩(wěn)定性。 5．  控制系統(tǒng)采用英國 RENISHAW 的 UCCLITE 高自動控制系統(tǒng)，該系統(tǒng)內嵌32位微處理器，真正實現(xiàn)實時控制。