一、技術(shù)參數(shù) 行程范圍：X軸------500 mm          Y軸------600 mm           Z軸------400 mm 結(jié)構(gòu)型式：活動(dòng)橋式 傳動(dòng)方式：柔性齒型同步帶+預(yù)載荷高空氣軸承 長(zhǎng)度測(cè)量系統(tǒng)：RENISHAW（英國(guó)）開放式光柵尺，分辨率為0.5 μm 機(jī)臺(tái)：高花崗巖平臺(tái)   使用環(huán)境：溫度(20±2)℃，濕度55%-65% ，溫度梯度1℃/m           溫度變化 1℃/h 空氣壓力：0.4 MPa - 0.5 Mpa 空氣流量：100 L/min – 120 L/min   整機(jī)尺寸：1.2 m X 1.4 m X 2.2 m 機(jī)臺(tái)承重：500 kg 整機(jī)重量：850 kg   控制及探針測(cè)量系統(tǒng)： 1．驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)：直流伺服電機(jī) (日本) 2．控制系統(tǒng)：Renishaw （英國(guó)） UCC 3．操作方式：計(jì)算機(jī)自動(dòng)控制 + 微電腦操縱盒 4．控制軟件：Serein DMIS V2.0 5．探測(cè)系統(tǒng)：Renishaw（英國(guó)）MH20i （標(biāo)準(zhǔn)配置） 6．測(cè)量不確定度（E）：（2.8+L/300）μm 二、機(jī)械特點(diǎn) 1．  整機(jī)設(shè)計(jì)采用單邊活動(dòng)橋式結(jié)構(gòu)，該結(jié)構(gòu)緊湊，大幅降低了活動(dòng)框架的重量，顯著了系統(tǒng)的運(yùn)動(dòng)性能，了測(cè)量及穩(wěn)定性。 2．  三軸導(dǎo)軌均采用天然花崗巖，使三軸具有相同的溫度特性，測(cè)量過程中良好的溫度穩(wěn)定性及剛性。 3．  三軸導(dǎo)軌均采用自潔式預(yù)載荷高空氣軸承，使運(yùn)動(dòng)更平穩(wěn)，導(dǎo)軌受磨損。 4．  長(zhǎng)度測(cè)量系統(tǒng)采用英國(guó) RENISHAW 的自粘開放式金屬光柵尺，使光柵尺與花崗巖基體的熱膨脹系數(shù)接近，從而設(shè)備的穩(wěn)定性。 5．  控制系統(tǒng)采用英國(guó) RENISHAW 的 UCCLITE高自動(dòng)控制系統(tǒng)，該系統(tǒng)內(nèi)嵌32位微處理器，真正實(shí)現(xiàn)實(shí)時(shí)控制。