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優(yōu)勢 |
特點 |
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FC-7700系列產(chǎn)品專為那些要求頂性能，但不要求具有耐腐蝕性或漏率要求的應(yīng)用而定制，不性價比好，而且控制高。 |
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響應(yīng)速度快 | |
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FC-7700系列產(chǎn)品采用新技術(shù)設(shè)計，工作性能遠遠質(zhì)量流量控制器MFC.其之處包括：采用了一種敏感、響應(yīng)速度快的小直徑傳感器。另外，與采用低速熱敏閥的同類產(chǎn)品相比，F(xiàn)C-7700系列產(chǎn)品采用常開或常閉式電磁閥，具有較快的響應(yīng)速度。響應(yīng)速度之后，避免了出現(xiàn)過沖，設(shè)定點的時間不到2秒--在帶標準電磁閥的質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品中是快的。 |
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的性 | |
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由高質(zhì)量的電子組件和采用耐用、少元器件的設(shè)計理念，這使它可以經(jīng)受強射頻場的干擾，滿足其它運轉(zhuǎn)要求，并具有同類產(chǎn)品中的點漂移穩(wěn)定性--使用過一年，點漂移不到滿量程的0.5%。在投入使用的25，000件以上產(chǎn)品中，有不到0.5%的產(chǎn)品在出貨一年內(nèi)返修。 |
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易于集成 | |
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替換其它品牌，即可輕松獲得Area質(zhì)量流量控制器所具有的性能和性方面的優(yōu)勢，且不會遇到安裝方面的麻煩。特定型號的產(chǎn)品帶有標準電氣接頭并具有臨界尺寸，可輕松裝入現(xiàn)有的系統(tǒng)。 |
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出從的效果 | |
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FC-7700系列質(zhì)量流量控制器帶給您的不是薄膜和刻蝕工藝的一致性，同時還有高度的可重復性。 |
型號參數(shù)：
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類別 |
FC-7700、7700C、7700CD、7700CU |
FC-7710、7710C、7710CD、7710CU |
FC-7720、7720C、7720CD |
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滿量程范圍 |
10sccm到5slm |
6到20slm |
35到150slm |
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20到50slm | |||
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響應(yīng)時間 |
到達設(shè)定點±2%所需時間<2秒 |
到達設(shè)定點±2%所需時間<3秒 | |
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滿量程±1%范圍內(nèi) |
滿量程±2%范圍內(nèi) | ||
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線性度 |
滿量程±0.5%范圍內(nèi) |
滿量程±0.5%范圍內(nèi) |
滿量程±1%范圍內(nèi) |
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滿量程±1%范圍內(nèi) | |||
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重復 |
滿量程±0.2%范圍內(nèi) | ||
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漏率 |
值1×10-6 atm-cc/秒(氦) | ||
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控制范圍 |
滿量程的5到100% | ||
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壓差 |
7至40 psi |
10至40 psi(517至2069托) |
21至40 psi(1086至2069托) |
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(362至2069托) |
14至40 psi(724至2069托) | ||
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正常工作壓力 |
50 psi(2586托) | ||
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入口壓力 |
值150 psi(7740托) | ||
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溫度范圍 |
5至45℃ | ||
注：可根據(jù)不同客戶的需求，選擇全金屬密封的FC-7800CD系列，數(shù)字型的FC-D770系列，全金屬密封及數(shù)字型的FC-D980系列。
