INFICON的冷陰和皮拉尼的復(fù)合真空規(guī) MPG400和MPG401, 測(cè)量范圍從 5x10-9毫巴至大氣壓(3.8 x10-9乇至大氣壓).將兩種測(cè)量方式組合在一個(gè)具有對(duì)數(shù)模擬輸出的小型單元內(nèi),大大地降低了安裝,設(shè)置和集成的復(fù)雜性.
優(yōu)點(diǎn):
復(fù)合真空規(guī)—冷陰與皮拉尼
寬的壓強(qiáng)測(cè)量范圍從5X10-9毫巴至大氣壓
無可燒毀的燈絲
卓越的引燃功能
FPM或金屬密封的饋入件
高壓加上時(shí)LED指示燈亮
對(duì)數(shù)模擬輸出訊號(hào)
應(yīng)用:
高真空壓強(qiáng)監(jiān)測(cè)
蒸發(fā)和濺射系統(tǒng)的壓強(qiáng)測(cè)量
一般真空測(cè)量和控制,從中至高真空范圍