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企業(yè)檔案

深圳市利方達(dá)科技有限公司

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經(jīng)營模式：貿(mào)易商

所在地：廣東深圳市

主營產(chǎn)品：膜厚控制儀;電子槍;旋片泵;射頻電源;分子泵;干泵;氦質(zhì)譜檢漏儀;真空規(guī)管;真空閥門;壓強(qiáng)控制儀;殘余氣體分析儀;晶振片;晶控儀;質(zhì)量流量計(jì);質(zhì)量流量控制器;壓電閥;四極質(zhì)譜;真空計(jì);薄膜規(guī);磁控靶

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INFICON公司生產(chǎn)的HPG400型高壓強(qiáng)熱電離皮拉尼真空計(jì)將高壓強(qiáng)熱電離與皮拉尼規(guī)管綜合在一個小型、輕便與經(jīng)濟(jì)的規(guī)管中，測量壓強(qiáng)從2×10-6至1000毫巴(1.5×10-6至750乇)。HPG400提供高度的重復(fù)性
和再現(xiàn)性壓強(qiáng)測量，用于的濺射過程的壓強(qiáng)控制。

HPG400皮拉尼真空計(jì)詳細(xì)資料

優(yōu)點(diǎn)：

寬的測量范圍從5x10^-10毫巴至大氣壓(3.8x10^-10乇至大氣壓)

好的重復(fù)性,過程壓強(qiáng)范圍10^-8 … 10^-2毫巴均為5%

皮拉尼連鎖保護(hù)燈絲,過早燒毀

雙敷涂釔的氧化銥長壽命燈絲

可選圖形顯示和現(xiàn)場總線接口

自動高真空皮拉尼調(diào)整,減少操作人員的干預(yù)

容易更換具有在機(jī)校準(zhǔn)的傳感元件,高度重復(fù)性

應(yīng)用：

半導(dǎo)體工藝和輸送室中的壓強(qiáng)測量

工業(yè)鍍膜

一般真空測量和控制,從真空范圍

訂購資料

型號	HPG400 Without LCD display	HPG400 With LCD display	HPG400-SP With Profibus DP¹^）	HPG400-SD With DeviceNet¹^）
DN 25ISO-KF	353-520	353-521	353-525	353-527
DN 40CF-R	353-522	353-523	353-526	353-528
更換傳感器25ISO-KF	354-487	354-487	354-487	354-487
更換傳感器40CF-R	354-488	354-488	354-488	354-488