FSG4000系列小流量氣體質量流量傳感器是專門為各類小流量氣體的測量和過程控制而設計的。這一系列傳感器均采用本公司自主研發(fā)的微機電系統(tǒng)（MEMS）流量傳感芯片來制作，適用于各類清潔氣體。的封裝技術使之可用于各類管徑，成本低、易安裝、不需要溫度壓力補償，可替代容積式或壓差式的傳統(tǒng)流量傳感器。
產品特點
-傳感器靈敏度高，有小的始動流量
-傳感器芯片采用熱質量流量計量，無需溫度壓力補償，了傳感器的高計量
-在單個芯片上實現(xiàn)了多傳感器集成，使傳感器的量程比大大；
-傳感器的點穩(wěn)定度高
-全量程高穩(wěn)定性
-全量程高度和優(yōu)良的重復性
-低功耗
-低壓損
-響應時間快
產品特點
-傳感器靈敏度高，有小的始動流量
-傳感器芯片采用熱質量流量計量，無需溫度壓力補償，了傳感器的高計量
-在單個芯片上實現(xiàn)了多傳感器集成，使傳感器的量程比大大；
-傳感器的點穩(wěn)定度高
-全量程高穩(wěn)定性
-全量程高度和優(yōu)良的重復性
-低功耗
-低壓損
-響應時間快
其他說明
| FSG4003 | FSG4008 | 單位 | |
| 通徑 | 3 | 8 | mm |
| 流量 | 1,2,5 | 10,20 | SLPM |
| 量程比 | >100:1 | ||
| &plun;(4%&plun;1%FS) | |||
| 重復性 | &plun;2% | ||
| 點輸出漂移 | &plun;30 | mV | |
| 輸出漂移 | 0.2 | % / ℃ | |
| 響應時間 | 100 | ms | |
| 工作電源 | 8~18Vdc, 50mA | ||
| 輸出方式 | 線性,模擬0.5~4.5Vdc | ||
| 流量壓損 | 100 | 500 | Pa |
| 工作壓力 | 0.4 | MPa | |
| 工作溫度 | -5~+55 | ℃ | |
| 儲存溫度 | -20~+65 | ℃ | |
| 工作濕度 | <95 | %RH | |
| 機械接口 | 可拆式軟管接頭 | NPT 1/4 | |
| 校準方式 | 空氣(或其他氣體), 20 ℃,101.325kPa | ||
| 重量 | 15 | 23 | g |
