FS1015系列微機電氣體質(zhì)量流量傳感器是專門為各類用氣體的測量和過程控制而設(shè)計的。產(chǎn)品采用本公司自主研發(fā)的微機電系統(tǒng)（MEMS）流量傳感芯片來制作，適用于各類清潔氣體。成本低、易安裝、不需要溫度壓力補償，可替代容積式或壓差式的傳統(tǒng)流量計。
產(chǎn)品特點：
-傳感器靈敏度高，有小的始動流量
-傳感器芯片采用熱質(zhì)量流量計量，無需溫度壓力補償，了傳感器的高計量
-在單個芯片上集成了多個傳感器，使傳感器的量程比大大；
-傳感器的點穩(wěn)定度高
-全量程高穩(wěn)定性
-全量程高度和優(yōu)良的重復性
-低功耗＜100 mW，低壓損＜1300 Pa
-響應時間快 8 msec
產(chǎn)品特點：
-傳感器靈敏度高，有小的始動流量
-傳感器芯片采用熱質(zhì)量流量計量，無需溫度壓力補償，了傳感器的高計量
-在單個芯片上集成了多個傳感器，使傳感器的量程比大大；
-傳感器的點穩(wěn)定度高
-全量程高穩(wěn)定性
-全量程高度和優(yōu)良的重復性
-低功耗＜100 mW，低壓損＜1300 Pa
-響應時間快 8 msec
