全自動光譜橢偏儀(PH-ASE型)把使用者從煩瑣的手動調(diào)節(jié)樣品高度和傾斜度工作中解放出來，樣品對準是為了橢偏儀測量的可重復性和性。已獲得的自動樣品對準裝置能夠顯著減少操作失誤；能夠工作于透明或反射基底；能夠進行地貌圖測量，包括翹曲晶片。
全自動光譜橢偏儀-產(chǎn)品特點
■全自動樣品校準
■高測量速率< 8秒
■消除了全波段范圍內(nèi)的盲點
■可測量透明和吸收基底
■高測量
■具有實驗數(shù)據(jù)和模擬數(shù)據(jù)三維繪圖功能
■友好的軟件界面，強大數(shù)據(jù)分析功能
■具有實驗數(shù)據(jù)和模擬數(shù)據(jù)三維繪圖功能
光譜橢偏儀-技術指標
■光源：氙燈
■光斑直徑：1-3mm
■入射角范圍：20°到90°自動控制
■波長范圍：350-850nm，250-1100nm，250-1700nm：0.002°~ 0.02°
■波長：1nm
■ 測量時間: < 8s（取決于測量模式和粗糙度）
■ 入射角度：0.01
光譜橢偏儀-可選配
■CCD線陣列探測元件：200-850nm，350-1000nm
■樣品顯微鏡
■高穩(wěn)定性消色差補償器
■測量架
■XY移動樣品臺
光譜橢偏儀-典型客戶
美國，歐洲，亞洲及國內(nèi)太陽能及半導體客戶。
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