尺寸重量:長(635mm)×寬(660mm)×高(1632mm),370KG
輸入電源:220V+/-10%,50~60Hz,0.5A
輸入氣源:0.5MPa,100L/min潔凈氣源
掃描方式:二次θ掃瞄
分選器:上置式直線分選器,12PIN分選
分選跨度:10"~99"可任意設置
分選盒數量提醒:1~40000片
小讀數:1"
測量速度:約1000~1200片/小時(與參數設置、晶片數據分布狀況有關)
可測量晶片規(guī)格:X向5.4~12.8mm,Z向9~27mm(規(guī)格可另設計治具)
中板片規(guī)格:X向33mm(更換片夾可在25~33間使用)
Z向26mm(更換片夾可在21~28間使用),尺寸可定制。
?。?X方向識別方式:自動辨認(可設置不辨向)
每次裝片量:約140mm高度
光路調整方式:可控光軌調整裝置
輸出方式:8英吋TFT觸摸屏,CF卡,PIBRIDGE打印接口
晶片輸送方式:可更換片夾
晶片出片間隙調整方式:測微頭微調
光閘開/關:自動
測量模式
提供2°與35°統(tǒng)計方式選擇
提供機構測試界面,可對設備的每個動作進行測試調整。
提供單次測量模式
提供靜態(tài)測試模式
提供大片測量模式
提供小片測量模式
提醒及
標準片校正不規(guī)范報警
電動滑臺自我保護報警
連續(xù)掃描分選結果異常報警
晶片在送取過程未撿取報警
自檢測異常報警,且提供詳細故障點
分選盒內的數量已到達設置值提醒
統(tǒng)計功能:
動態(tài)中心值指示
動態(tài)標準偏差值指示
CPK制程能力指數實時計算
動態(tài)柱狀圖指示
動態(tài)百分比指示
晶片按秒歸檔統(tǒng)計并提供詳細柱狀圖