限真空 低于9.0E-5pa
恢復(fù)真空 10min內(nèi)3.0E-3pa
空 低于9.0E-2pa
溫度均勻性 280℃±10℃(30min加熱后)
成膜均勻性 小于5nm
成膜再現(xiàn)性 小于5nm
成膜控制 全自動軟件控制
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