ASM142氦質(zhì)譜檢漏儀是法國(guó)公司新推出的用來(lái)檢測(cè)電子元器件的多功能氦質(zhì)譜檢漏儀
　　器。
　　可以對(duì)具有內(nèi)腔的微電子或半導(dǎo)體器件封裝的氣密性進(jìn)行細(xì)檢漏。
　　該檢測(cè)方法使用的示蹤氣體選擇了氦氣，氦氣具有質(zhì)量數(shù)小、重量輕并且有滲透能力強(qiáng)的優(yōu)點(diǎn)，達(dá)
　　到了細(xì)檢漏的目的。
　　合美國(guó)真空標(biāo)準(zhǔn)S2.1以及國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)ISO3530的標(biāo)準(zhǔn)。內(nèi)置式標(biāo)準(zhǔn)漏孔，帶自動(dòng)溫度補(bǔ)償
　　系統(tǒng)。開機(jī)5分鐘后完成準(zhǔn)備工作，可以開檢。數(shù)顯工作界面；數(shù)字顯示漏率，帶音頻報(bào)警。
　　工作參數(shù)可以通過(guò)菜單設(shè)定和修改。可以設(shè)置報(bào)廢點(diǎn)。質(zhì)譜室自動(dòng)保護(hù)：大氣突然沖入。

　　技術(shù)規(guī)格：
　　靈敏度：5.0×10-12 mbar.l/s
　　漏率顯示范圍：2×10-12~1×10-1 mbar.l/s（He）
　　檢漏的時(shí)間（空盒時(shí)）：小于30秒
　　發(fā)射電流顯示：0.2—2mA
　　檢漏口對(duì)氦氣的抽速：1.3升/秒
　　啟動(dòng)時(shí)間：小于5分鐘
　　接口尺寸：DN 25 KF
　　外觀尺寸：510×343×428mm
　　重量：56Kg
　　電源：
　　220V 50Hz 單相