主要技術(shù)指標(biāo):
小可檢漏率:5×10-12PA•m3/s
漏率顯示范圍:1×10-3~5×10-12PA•m3/s
啟動(dòng)時(shí)間:≤5min
響應(yīng)時(shí)間:≤1s
檢漏口壓力:1000PA
限真空:5×10-4PA
主機(jī)尺寸:880(W)×420(D)×835(H)
重量:92KG
主要配置:
德國(guó)萊寶復(fù)合型分子泵
德國(guó)萊寶機(jī)械泵
德蒂電磁閥
美國(guó)AD放大器
內(nèi)置標(biāo)準(zhǔn)漏孔