產(chǎn)品特點(diǎn)
■無接觸和傷測(cè)量
■自動(dòng)測(cè)量,具有傳送系統(tǒng),可進(jìn)行連續(xù)測(cè)量
■快速測(cè)量,測(cè)試掃描速度2000mm/min
■測(cè)試范圍廣:包括硅塊、硅棒、硅片等少子壽命測(cè)量
■主要應(yīng)用于硅棒硅塊、硅片的進(jìn)廠、出廠檢查,生產(chǎn)工藝過程中屬沾污和缺陷的監(jiān)控等。
■,地降低了企業(yè)的測(cè)試成本。
推薦工作條件
■溫度:18-26℃
■濕度:10%~80%
■大氣壓:750&plun;30毫米汞柱
技術(shù)指標(biāo)
■少子壽命測(cè)試范圍:0.1μs-20ms
■測(cè)試掃描速度:2000mm/min
■測(cè)試尺寸:215mm*215mm*500mm
■電阻率范圍:>0.1Ω。cm
■激光波長(zhǎng):904,測(cè)試功率范圍:50-500mw
■硅棒硅塊掃描間距:≥1mm
■儀器測(cè)試:&plun;3.5%,信號(hào)處理偏差≤2%
■工作頻率:10GHz&plun;0.5
■微波測(cè)試單元功率:0.01W&plun;10%
■電源:~220V 50Hz 功耗<200W
■主機(jī)尺寸:365mm*645mm*565mm
■主機(jī)重量:30KG
典型客戶
河北,江西,江蘇,浙江,新疆等地拉晶鑄錠客戶。