Tropel®00®為精密部件的制造商提供了業(yè)界的表面形態(tài)測(cè)量。通過(guò)非接觸式光學(xué)測(cè)量技術(shù)記錄下整個(gè)表面的數(shù)據(jù)。00能夠快速和準(zhǔn)確地對(duì)各種表面的平面度、線型和其他表面參數(shù)進(jìn)行測(cè)量。
　　
　　產(chǎn)品特點(diǎn)：
　　■無(wú)接觸和傷測(cè)量
　　■適用多種類(lèi)型材料：半導(dǎo)體，金屬，聚合物，陶瓷，玻璃和其它材料
　　■適用多種類(lèi)型晶片：硅/藍(lán)寶石/碳化硅/砷化鎵/石英/鍺/鈮酸鋰
　　■適用多種類(lèi)型表面：研磨表面，拋光面，光滑面
　　■測(cè)量多種不同指標(biāo)：
　　厚度/TTV/SORI/LTV/LDOF/壓力/翹曲度/彎曲度/平坦度/平面度/線輪廓/表面輪廓
　　■完整的分析系統(tǒng)：
　　三維/拓?fù)?合格率/分布/二維環(huán)形和半徑切面/平面/球面/錐形匹配/局部平面度分析/斜度
　　■可以實(shí)現(xiàn)自動(dòng)、快速、準(zhǔn)確、穩(wěn)定的測(cè)量
　　■過(guò)15年的工業(yè)應(yīng)用，幾百臺(tái)的裝機(jī)量。
　　
　　技術(shù)參數(shù)：
　　■度：50nm（2.0μ″）
　　■重復(fù)性：15 nm（0.6μ″）（1 sigma）
　　■分辨率：5nm（0.2μ″）
　　■可測(cè)量工件尺寸：25mm-200mm
　　■動(dòng)態(tài)測(cè)量范圍：>100um
　　■測(cè)量數(shù)據(jù)點(diǎn)：230，000/measurement
　　■測(cè)量時(shí)間：5秒
　　■電源：～220V 50Hz.