優(yōu)點(diǎn)
降低缺陷率
實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)導(dǎo)致制程缺陷的粒子變化
使用移動(dòng)式計(jì)數(shù)器定位粒子污染源
排除多管采樣的常見(jiàn)漏計(jì)錯(cuò)誤
附件配備,適用于多種應(yīng)用
0.1um粒子監(jiān)測(cè)效率高于傳統(tǒng)設(shè)備
生產(chǎn)效率
存儲(chǔ)/導(dǎo)出采樣方案,節(jié)省潔凈室時(shí)間
通過(guò)辦公室電腦和網(wǎng)絡(luò)瀏覽器控制潔凈室監(jiān)測(cè):
設(shè)置,采樣,顯示,打印,數(shù)據(jù),上傳采樣方案等
噪音小,有利于工作環(huán)境
可選擇9種語(yǔ)言顯示和打印
合ISO,F(xiàn)S或英國(guó)標(biāo)準(zhǔn)的計(jì)算統(tǒng)計(jì)和
同F(xiàn)acility Net 軟件整合,用于數(shù)據(jù)管理
告訴數(shù)據(jù)至EXCEL,PDA 或U存儲(chǔ)器
成本低
使用同一臺(tái)粒子計(jì)數(shù)器進(jìn)行ISO Cl 1-9應(yīng)用
無(wú)需頻繁清洗激光部件
泵的使用壽命長(zhǎng),無(wú)需每年更換葉片
容擦拭,設(shè)計(jì)有利于將粒子截留建至少
合A/D標(biāo)準(zhǔn)的KYDEX機(jī)殼,結(jié)實(shí),化學(xué)腐蝕
低溫激光二管使用壽命更長(zhǎng);激光部件保修3年
性能
激光二管
功能,噪音小,使用方便
6個(gè)粒徑通道:0.1-5.0um
可存儲(chǔ)多達(dá)3000套樣本參數(shù),可進(jìn)行數(shù)據(jù)審核,分檢,過(guò)濾,打印
U數(shù)據(jù)至閃存卡鍵
內(nèi)置熱敏打印機(jī)
彩色液晶大顯示屏:視覺(jué)效果佳,數(shù)據(jù)顯示量大
安靜的無(wú)碳鼓風(fēng)機(jī)/泵;泵和機(jī)柜排氣過(guò)濾
可整合多達(dá)6個(gè)環(huán)境傳感器
可選購(gòu)適用于ISO 1-4級(jí)潔凈度的過(guò)濾器
可選購(gòu)供8小時(shí)連續(xù)移動(dòng)使用的電池/充電器
應(yīng)用
潔凈室監(jiān)測(cè)
高靈敏度應(yīng)用
滿(mǎn)足ISO,F(xiàn)S 或英國(guó)標(biāo)準(zhǔn)的設(shè)施
LASAIR II-110規(guī)格
通道限值:0.1,0.2,0.3,0.5,1.0,5.0um
流量:1CFM
校準(zhǔn):可追蹤校準(zhǔn)材料,合NIST標(biāo)準(zhǔn)
測(cè)試方法:微分遷移分析法驗(yàn)證0.1um粒子
濃度:大于500,000/立方英尺
點(diǎn)計(jì)數(shù):過(guò)JIS標(biāo)準(zhǔn),適用于ISO cl 1和2潔凈室
激光源:激光二管,3W(正常使用為2W)
激光冷卻:熱電冷卻,散熱片
保修:3年激光模塊保修,2年其它組件保修
通訊模式:以太網(wǎng)或RS-232;可選購(gòu)4-20mA輸出版;U輸出
環(huán)境傳感器:可選購(gòu)溫度/相對(duì)濕度探頭;通過(guò)4-20mA輸入整合多達(dá)4臺(tái)外部傳感器
顯示:1/4VGA彩色液晶顯示器
顯示語(yǔ)言:英語(yǔ),法語(yǔ),德語(yǔ),意大利語(yǔ),日語(yǔ),韓語(yǔ),西班牙語(yǔ),中文
打印機(jī):內(nèi)置熱敏打印機(jī)
?。簶颖敬蛴?;ISO/FS209/英國(guó)標(biāo)準(zhǔn)的潔凈室規(guī)則達(dá)標(biāo)終;多次運(yùn)行平均值;警報(bào)打?。徊蓸优渲么蛴?
遠(yuǎn)程控制:通過(guò)網(wǎng)絡(luò)瀏覽器操作設(shè)備;保存或運(yùn)行采樣方案
軟件關(guān)鍵性能:采樣方案,預(yù)定采樣,歷史數(shù)據(jù)篩選,分檢和審核,保護(hù)
數(shù)據(jù)存儲(chǔ):3000套數(shù)據(jù)
數(shù)據(jù)和采樣:存儲(chǔ)的數(shù)據(jù)記錄不可更改;采樣方案可由保護(hù)
外表面:KYDEX底盤(pán),聚酯顯示屏,鍍鋅鋼底座均合A/D標(biāo)準(zhǔn)
清潔材料:漂白劑,甲醛,乙/異丙醇,過(guò)氧化氫
監(jiān)測(cè)清潔度:內(nèi)部過(guò)濾泵排氣和機(jī)柜排氣
尺寸:45 X 35 X 32 cm
電源:85-264V,50-60Hz
工作環(huán)境:溫度15-30攝氏度;濕度 10-85%非冷凝