·三軸均采用天然黑色花崗巖材料以各軸具有相同的熱力學(xué)性能。
·預(yù)應(yīng)力空氣軸承環(huán)抱式設(shè)計(jì),與平臺(tái)集成為一體的Y軸導(dǎo)軌和全封閉的。
·X軸、Z軸結(jié)構(gòu)、不但了機(jī)器的震性和機(jī)械,而且了機(jī)械設(shè)備卓越的動(dòng)態(tài)性能和長(zhǎng)期的穩(wěn)定性。
·模塊化設(shè)計(jì)的結(jié)構(gòu),維護(hù)其方便。橫梁采用矩形導(dǎo)軌結(jié)構(gòu),的降低了橫梁的彎曲變形所帶來(lái)的非線性誤差,并能夠各個(gè)空氣軸承的對(duì)稱和匹配性,使其能夠在運(yùn)動(dòng)中保持良好的性和穩(wěn)定性。了機(jī)器優(yōu)異的動(dòng)態(tài)特性。橫梁的護(hù)設(shè)計(jì),了空氣軸承能夠在清潔的環(huán)境中運(yùn)行,大地避免了機(jī)器故障的發(fā)生。
嚴(yán)格按國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)(ISO)設(shè)計(jì):
按pH10T+TP20設(shè)計(jì)的距離,了Z軸在突然下降到底端時(shí),測(cè)頭不會(huì)碰到工作臺(tái)而損壞測(cè)頭。另外增加的Z軸前端保擴(kuò)功能,使Z軸在突然斷氣和通氣時(shí)不至于下落。大的了機(jī)器的性