應(yīng)離子刻蝕機(jī)、等離子體去膠機(jī)、等離子體清洗機(jī)等感性及容性輸出負(fù)載的等離子體設(shè)備。
技術(shù)特點(diǎn):
本電源采用它激振蕩,晶體穩(wěn)頻,頻率13.56KHz,采用金屬陶瓷四管功率輸出,輸出功率連續(xù)可調(diào),具有相應(yīng)的自匹配器,自動(dòng)匹配網(wǎng)絡(luò)使輸出功率加到反應(yīng)室,匹配范圍大,具有反射功率(Pr)保護(hù)電路,具備過載短路的能力,并能方便的讀出入射功率、反射功率。