ZP系列射頻電源自動匹配裝置：適用于采用高頻單激發(fā)的等離子體化學(xué)氣相淀積設(shè)備、等離子體噴涂設(shè)備、等離子體刻蝕設(shè)備、反應(yīng)離子刻蝕機、等離子體去膠機、等離子體清洗機等感性及容性輸出負(fù)載的等離子體設(shè)備。
　　
　　本產(chǎn)品的使用價值：
　　1、穩(wěn)定生產(chǎn)工藝環(huán)境、產(chǎn)品質(zhì)量。如對于太陽能電池生產(chǎn)等離子刻蝕工藝，可以過刻蝕及欠刻蝕：刻蝕的均勻性，提
　　高電池轉(zhuǎn)換效率0.1％；過刻蝕硅片面積因而單位面積的功率1％；減少返工，降低硅片的破損損耗，硅片使
　　用率1％；
　　2、減少射頻反射對周圍設(shè)備儀表的影響，儀表的準(zhǔn)確度；
　　3、減少射頻電源反射對環(huán)境造成的不利影響，利于、實現(xiàn)對企業(yè)的要求；
　　4、減少射頻反射對人身的傷害！
　　
　　主要技術(shù)參數(shù)：
　　網(wǎng)絡(luò)類型：L型網(wǎng)絡(luò)
　　射頻功率：1KW
　　網(wǎng)絡(luò)輸入阻：標(biāo)準(zhǔn)50Ω
　　負(fù)載阻：調(diào)諧范圍：（2.7～45）-j（0～70）Ω；
　　工作頻率：13.56MHz
　　手動／自動：可切換
　　射頻電源輸入接口：SL16-50KF
　　射頻電源輸出接口：L27-50KF
　　交流輸入電源：220VAC&plun;15％、50-60Hz、0.5A