特點:
1.馬達驅(qū)動高度可調(diào)的顯微鏡適合于不同高度的操作者
2.305×155mm的樣品臺可以承載有300mm的晶圓,框架或者基板
3.可以對破壞后的樣品進行拍照
4.Die Shear 可以到達200Kgf
5.測試模塊具有保護設計和內(nèi)存校準
6.不同的數(shù)據(jù)分析功能,兼容Oracle SQL
7.占地小,標準PC
8.支持中文
技術(shù)指標:
系統(tǒng)集成電腦,系統(tǒng)集成了工業(yè)標準的并裝有Windows XP操作系統(tǒng)的電腦,配置硬盤,DVD/CD-ROM RW光驅(qū),具備U,網(wǎng)絡,打印機等接口
馬達驅(qū)動X、Y和Z軸:305mm×155mm×70mm
X和Y軸分辨率:1um
Z軸分辨率:0.1um
全系統(tǒng)測量:0.15%
電源需求:AC 110V~220V/50~60Hz