尺寸:1100　x　1250　x　1550　mm　
　　重量:400kg　
　　類型:自動(dòng)的　
　　測(cè)量方法:無連接的　
　　測(cè)量原理:反射計(jì)　
　　特征:測(cè)量，操作簡(jiǎn)單
　　
　　非接觸式，非破壞方式
　　
　　的重復(fù)性和再現(xiàn)性
　　
　　2D／3D　映射和造型
　　
　　自動(dòng)機(jī)械活動(dòng)控制
　　
　　電荷耦合器件照相機(jī)
　　
　　自動(dòng)調(diào)焦
　　
　　活動(dòng)范圍:300mm　x　300mm　
　　測(cè)量范圍:100Å～　35㎛（Depends　on　Film　Te）　
　　光斑尺寸:40㎛／20㎛，4㎛（option）　
　　測(cè)量速度:1～2　sec。／site（fitting　time）　
　　應(yīng)用領(lǐng)域:All　Capability　of　ST2000　＆　More　Precision　Measurement　
　　Intended　for　Large　Size　Wafer　Measurement　
　　選擇:Tranittance　Module
　　Reference　Sample（K-MAC　or　KRISS　or　NIST）　
　　接物鏡旋轉(zhuǎn)器:Quintuple　Revolving　Nosepiecs　
　　焦點(diǎn):Coaxial　Coarse　and　Fine　Focus　Controls　
　　附帶照明:12v　100W　Halogen　Lamp