范圍 600×800×150mm
測(cè)量準(zhǔn)確度 1.9+L/300(um)
測(cè)量準(zhǔn)確度 3.0+L/150(um)
分辨率 0.1um
光學(xué)可編程12:1光學(xué)放大20x-245x with1xObject Lens
照明 LED Coaxial Light/LED背光源
表面LED環(huán)形燈 LED環(huán)形燈5Rings×8 Sectors×40 Segments
線掃描激光器平整度激光掃描分析軟件
同軸激光器(可選)可補(bǔ)償同軸激光器
接觸式探針 RENISHAW接觸式探針使用iTouch軟件