型號:Premium600C
范圍:600×500×150mm
測量準(zhǔn)確度:1.9+L/300(um)
測量準(zhǔn)確度:3.0+L/150(um)
分辨率:0.1um
光學(xué):可編程12:1光學(xué)放大20x-245x with1xObject Lens
照明:LED Coaxial Light/LED背光源
表面LED環(huán)形燈:LED環(huán)形燈5Rings×8 Sectors×40 Segments
線掃描激光器:平整度激光掃描分析軟件
同軸激光器(可選):可補償同軸激光器
接觸式探針:RENISHAW接觸式探針使用iTouch軟件