具有兩個(gè)自動(dòng)盒式晶圓傳送裝置,適應(yīng)全自動(dòng)生產(chǎn),LS2300-A可兼容300mm晶圓。能處理4,6,8及12英寸晶圓。額外的半自動(dòng)工具LS2-SM,可用于小批量生產(chǎn),打樣或開(kāi)發(fā)。
LS2系統(tǒng)用于CSP背面表面打標(biāo)及晶圓級(jí)封裝硅晶片。
LS2可打標(biāo)產(chǎn)品商標(biāo),單元碼,用于產(chǎn)品識(shí)別和追蹤。
PacTech釋放集成激光包含紅外(1064波長(zhǎng))和綠光(532波長(zhǎng))。 LS2獨(dú)特之處是集成QualMark進(jìn)行質(zhì)量控制。
它可以作為在線(xiàn)程序控制器,控制晶圓片打標(biāo)質(zhì)量,并能快速響應(yīng)生產(chǎn),無(wú)需額外的后期光學(xué)檢測(cè)處理。

產(chǎn)品規(guī)格
激光:
類(lèi)型:2D掃描頭自動(dòng)校準(zhǔn)300字符/秒(標(biāo)準(zhǔn))YAG二極管泵浦激光器功率:8.0 W波長(zhǎng):紅外或綠光*
系統(tǒng)處理:
晶圓片尺寸:可達(dá)300mm加工過(guò)程中質(zhì)量控制Flat/Notch compatibility SEMI潔凈室:可兼容Class 10K全自動(dòng)機(jī)器人處理系統(tǒng)檢查系統(tǒng):QualMark集成預(yù)校準(zhǔn)器*
軟件:
PacTech打標(biāo)軟件 集成條碼閱讀器*SECS GEM接口
安全性及國(guó)際標(biāo)準(zhǔn):
符合CE標(biāo)準(zhǔn)Semi S2-020, Semi S4-1000*CDRH,TUV,UL*