- 企業(yè)類型：制造商
- 新舊程度：全新
- 原產(chǎn)地：日本
詳細(xì)信息
UX-4系列全自動(dòng)投影式光刻設(shè)備主要運(yùn)用于大尺寸的LED芯片生產(chǎn)和研發(fā)。同時(shí)又可以運(yùn)用于半導(dǎo)體MEMS芯片的新品開發(fā)和大批量生產(chǎn)。特點(diǎn)：
*限度的提高生產(chǎn)良率。（焦點(diǎn)深度可達(dá)±50um）
*光刻板和Wafer非接觸，光罩板可以反復(fù)利用無需對(duì)光罩板進(jìn)行清洗和更換。
*可對(duì)應(yīng)到8英寸芯片的生產(chǎn)，1:1性曝光。
*設(shè)備利用率可達(dá)97%以上
*真正意義上的全自動(dòng)，光罩板無需人工裝載。
*產(chǎn)品生產(chǎn)切換簡易。
*焦點(diǎn)深度可達(dá)±50um（可有效對(duì)芯片應(yīng)翹曲嚴(yán)重和厚膠工藝）
應(yīng)用：
*LED及半導(dǎo)體MEMS芯片的研發(fā)和生產(chǎn)
