手動(dòng)光刻機(jī)，便宜，性能好。
產(chǎn)地；日本
可根據(jù)客戶具體要求，定制。
適合研發(fā)類用戶

曝光類型：?jiǎn)蚊?br />◆曝光面積：≥φ115mm
◆曝光不均勻性：≤±3%
◆曝光強(qiáng)度：≥20mw/cm2
◆曝光分辨率：1μm
◆曝光模式：可選擇曝光或套刻曝光模式
◆掃描范圍：X:±40mm   Y:±35mm
◆對(duì)準(zhǔn)范圍：X、Y粗調(diào)±3mm、細(xì)調(diào)±0.3mm Q粗調(diào)±15°、細(xì)調(diào)±3°
◆對(duì)準(zhǔn)：1μm
◆分離量：0～50μm可調(diào)
◆接觸－分離漂移：≤1μm
◆密著曝光方式：密著曝光可實(shí)現(xiàn)硬接觸、 軟接觸和微力接觸曝光；
◆找平機(jī)構(gòu)：三點(diǎn)式自動(dòng)找平；
◆顯微系統(tǒng)：雙視場(chǎng)CCD系統(tǒng)，顯微鏡45X～ 300X連續(xù)變倍（物鏡1.125X～7.5X），雙 物鏡距離可調(diào)范圍：11mm～100 mm，計(jì)算機(jī)圖像處理系統(tǒng)，19″液晶監(jiān)視器；
◆掩模版尺寸：2.5″×2.5″(或3″×3″) 4″×4″、5″×5″
◆基片尺寸：φ2″、φ3″、φ4″
◆基片厚度：≤5 mm
◆曝光燈功率：直流350W
◆曝光定時(shí)：0～999.9秒可調(diào)
◆對(duì)準(zhǔn)方式：切斯曼對(duì)準(zhǔn)機(jī)構(gòu)
◆曝光頭轉(zhuǎn)位：氣動(dòng)
◆電源：?jiǎn)蜗郃C220V 50Hz 功耗≤1kW
◆潔凈空氣壓力：≥0.4Mpa
◆真空度：-0.07MPa～-0.09Mpa
◆尺寸： 920×680×1600(L×W×H)mm；
◆重量：～170kg