- 產(chǎn)品品牌:
- BSET EQ NT
- 產(chǎn)品型號(hào):
- BSET EQ NT
FA-2000 反應(yīng)離子刻蝕機(jī)
主要用于微電子、光電子、通訊、微機(jī)械、新材料、能源等領(lǐng)域的器件研發(fā)和制造。
應(yīng)用:
器件/IC 的表面打開及內(nèi)部鈍化層的去除。
主要特征:
1 用戶有好界面: 系統(tǒng)的狀態(tài)、無限的程序存儲(chǔ)和屏顯示過程都是標(biāo)準(zhǔn)的配置
2 的腔體設(shè)計(jì): 四方的進(jìn)氣模塊為反應(yīng)氣體提供了均一的導(dǎo)電系數(shù)和對(duì)晶元較高的刻蝕速率
3 13.56兆赫300瓦的射頻發(fā)生器
4 6吋的電極可以容納150毫米的晶園
5 微處理器控制,無限存儲(chǔ)量
6 10.4吋薄膜晶體管顯示器, 結(jié)果可打印機(jī)及傳到外接顯示器