- 產(chǎn)品品牌:
- BSET EQ NT
- 產(chǎn)品型號(hào):
- BSET EQ NT
NT-3 系列等離子清洗設(shè)備
設(shè)備應(yīng)用:
半導(dǎo)體/集成電路;SMT;LCD行業(yè)中樣品表面清潔:去除光刻膠;去除光掩膜雜質(zhì);有機(jī)粘污;氧化物污染及表面的灰塵等;還可能對(duì)表面進(jìn)行活化;在生產(chǎn)線;FA或QA和R&D中被廣泛應(yīng)用?!?BR>
主要特征:
1 獨(dú)特的腔體設(shè)計(jì);
2 提供的潔凈空間和均勻的等離子分布;
3 使用友好的控制操作界面;
4 可進(jìn)行菜單式操作和控制;
5 全部參數(shù)都時(shí)實(shí)地顯示在設(shè)備的屏目上:可隨時(shí)根據(jù)系統(tǒng)狀況,進(jìn)行系統(tǒng)診斷
NT-3 參數(shù):
尺寸(英尺): 30L X 32W X32H
重量: 160LBS
設(shè)備腔體內(nèi)部尺寸:18W X 18H X 24L (UPTO 12SHELVES)
發(fā)動(dòng)機(jī): 600 or 100 or 1500 Watt @13.50 MHZ or 40KHZ
泵: 27 or 50 or 90 CFM
操作控制: 單機(jī)板控制, 無(wú)限量數(shù)據(jù)存儲(chǔ); TFT顯示操作系統(tǒng), 更方便的與外接,結(jié)果方便輸出/存儲(chǔ)及處理.