| 儀器型號 | TXVMS-1510T | TXVMS-2010T | TXVMS-2515T | TXVMS-3020T | TXVMS-4030T | |
| 工作臺 | 金屬臺面尺寸(mm) | 354×228 | 404×228 | 450×280 | 510×290 | 606×466 |
| 玻璃臺面尺寸(mm) | 210×160 | 260×160 | 306×196 | 360×260 | 450×350 | |
| 運動行程(mm) | 150×100 | 200×100 | 250×150 | 300×200 | 400×300 | |
| 儀器重量(Kg) | 100 | 110 | 120 | 200 | 240 | |
| 外形尺寸(mm) | 540×560×850 | 760×600×900 | 760×670×940 | 970×670×940 | 970×670×940 | |
| Z軸升降行程 | 150mm | |||||
| 工作距離 | 108mm | |||||
| X、Y、Z數(shù)顯解析度 | 1μm | |||||
| X、Y坐標示值誤差 | ≤(3+L/200)μm | |||||
| 影像系統(tǒng) |
攝像機：彩色1/3" CCD 變焦物鏡倍率：037~4.5X 視頻總倍率：30X~230X 物方視場：7~1.1mm 表面光源與透射光源均使用LED，亮度可調節(jié) | |||||
| 電源 | AC180~360V | |||||
| 測量功能 | 采用英國Renishaw精密測頭，可測線、角、圓、圓心距、角度、高度、平面距、空間距、平整度、球體等 | |||||
北京精成光學儀器廠
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