| 型號(hào) | Excel651UM | Excel651UC | Excel652UM | Excel652UC | Excel654UM | Excel654UC |
| 量測(cè)行程 | 650x650x160mm | 650x650x250mm | 650x650x400mm | |||
| 外形尺寸 | 1311x1604x1608mm | 1311x1604x1788mm | 1311x1604x2088mm | |||
| 重量 | 1530kg | 1550kg | 1550kg | |||
| 承載重量 | 100kg | 100kg | 100kg | |||
| 平臺(tái)材質(zhì) | 鋼構(gòu) | |||||
| 基座材質(zhì) | 花崗巖 | |||||
| 傳動(dòng)方式 | Unique X&Y Monorail, Monorail Linear Z | |||||
| 電控系統(tǒng) | 伺服系統(tǒng): CNC, 滑鼠, 搖桿 | |||||
| 電源系統(tǒng) | 93-264 VAC, 47-63 Hz,10 Amp | |||||
| XY | Uxy=2.5+L/300μm | Uxy=2.8+L/300μm | Uxy=3.2+L/300μm | |||
| Z | Ux=2.5+L/150μm | Ux=3.0+L/150μm | Ux=3.5+L/150μm | |||
| XY 重現(xiàn)性 | 2.5μm | 2.8μm | 3.2μm | |||
| Z 重現(xiàn)性 | 2.5μm | 3.0μm | 3.5μm | |||
| XY 加速度 | 1000mm/S2 | |||||
| Z 加速度 | 500mm/S2 | |||||
| XY 移動(dòng)速度 | 500mm/s | |||||
| Z 移動(dòng)速度 | 150mm/s | |||||
| 光學(xué)尺解析度 | 0.1μm | |||||
| 影像 | 黑白 | 彩色 | 黑白 | 彩色 | 黑白 | 彩色 |
| 光源 | 紅光LED | 白光LED | 紅光LED | 白光LED | 紅光LED | 白光LED |
| 照明系統(tǒng) | 表面光, 輪廓光,同軸光 | |||||
| 光學(xué)系統(tǒng)/放大倍率 | 12x 光學(xué)/2.5x 數(shù)位 Zoom / 15x~1200x 放大倍率 | |||||
| 軟體 | InSpec for Windows Metrology Software(2000/XP/Vista) | |||||
| 工作環(huán)境 | 20℃(68℉)±2°,30-80%濕度 | |||||
北京精成光學(xué)儀器廠
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