產(chǎn)品品牌：

Filmetrics

產(chǎn)品型號：

F10、RARTS、F20、F30、F40、F50

通過Filmetrics膜厚測量儀新反射式光譜測量技術(shù),多4層透明薄膜厚度、 n、k值及粗糙度能在數(shù)秒鐘測得。其應(yīng)用廣泛，例如 :
半導(dǎo)體工業(yè) : 光阻、氧化物、氮化物。
LCD工業(yè) : 間距 (cell gaps)，ito電極、polyimide 保護(hù)膜。
光電鍍膜應(yīng)用 : 硬化鍍膜、抗反射鍍膜、過濾片。

極易操作、快速、準(zhǔn)確、機(jī)身輕巧及價(jià)格便宜為其主要優(yōu)點(diǎn)，F(xiàn)ilmetrics提供四種不同型號以供選擇:

F20 : 這簡單入門型號有三種不同波長選擇(由220nm紫外線區(qū) 至1700nm近紅外線區(qū))為任意攜帶型。薄膜厚度范圍是 30a到100nm，為1a゜。

F30:這型號可安裝在任何真空鍍膜機(jī)腔體外的窗口?？蓪?shí)時(shí)監(jiān)控長晶速度、實(shí)時(shí)提供膜厚、n、k值。并可切定某一波長或固定測量時(shí)間間距。更可加裝至三個(gè)探頭，同時(shí)測量三個(gè)樣品，具紫外線區(qū)或標(biāo)準(zhǔn)波長可供選擇。

F40:這型號安裝在任何顯微鏡外，可提供小5um光點(diǎn)(100倍放大倍數(shù))來測量微小樣品。

F50:這型號配備全自動xy工作臺，由8"x8"到18"x18"或客戶提供所需尺寸均可。通過快速掃瞄功能，可取得整片樣品厚度分布情況(mapping)。                  

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