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薄膜測量領(lǐng)域的#1品牌
PARTS利用垂直&偏角度雙光源實(shí)現(xiàn)了更簡便、更的薄膜測量
在已有分析能力強(qiáng)大的反射率-穿透率同時測量系統(tǒng)平臺上,我們增加了散射率、臨界入射角反射率的計算,從此無需建模即可對單層膜膜厚,光學(xué)常數(shù)n、k值進(jìn)行測量!!多層膜的全面分析同樣只需輕擊鼠標(biāo)即可輕松完成!
分析優(yōu)勢
PARTS符合行業(yè)標(biāo)準(zhǔn),極小的占地空間、通用的USB接口,確保設(shè)備安裝簡單便捷。整機(jī)無任何運(yùn)動件,除鎢鹵素?zé)敉鉄o需其他維護(hù),確保設(shè)備高度可靠。全面、可靠的集成
得益于計算垂直(0°)入射和角度(70°)入射的反射率和穿透率,PARTS極大了提高了對薄膜應(yīng)用場合(如:太陽能、OLEDs等行業(yè))的分析能力。尤其,通過計算變量R0,R70,TO,我們可以簡單便捷的實(shí)現(xiàn)膜層厚度,n、k值的測量。而且,由于增加了對散射率計算,使膜層的粗糙度測量從其它分析上分離出來,從而讓我們可以實(shí)現(xiàn)膜層表面粗糙度的單獨(dú)測量。
PARTS系列配有多種波長的產(chǎn)品以滿足不同客戶的需求,具體規(guī)格如下:
Model | Thickness Range | *Wavelength Range |
PARTS | 5nm-70μm | 380-1050nm |
PARTS-UV | 1nm-70μm | 200-1100nm |
PARTS-EXR | 5nm-70μm | 380-1700nm |
*以上數(shù)值會因薄膜堆疊層數(shù)變化而有所不同。
零配件清單如下:
- 光譜儀主機(jī)
- FILMeasure 6.0 軟件光碟
- BK-7參考片
- Al2O3參考片
- Si參考片
- Anti-reflector
- 拭鏡紙
- 擁有130多種材料的數(shù)據(jù)庫
- 軟件更新
- 工作日應(yīng)用工程師24小時的技術(shù)支持
- 在線“手把手”支持
- 支持硬件升級
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