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掃描熱顯微鏡模塊（由控制器，軟件和探針組成）可使大多數(shù)AFM實(shí)現(xiàn)對(duì)試樣溫度的掃描成像，且分辨率可達(dá)0.1℃。
SThM的探針可測(cè)量探針溫度，因而能實(shí)現(xiàn)對(duì)試樣表面的導(dǎo)熱系數(shù)或溫度變化的掃描成像。表面形貌和熱性能成像圖的分辨率一般低于100nm。懸臂由SiN制成，內(nèi)嵌薄金屬線且金屬線的阻位置在針尖附近。由于使用了金屬薄膜電阻，這類(lèi)探針不像ThermaLever探針能升至很高的溫度。為了便于操作和使用，這類(lèi)探針的針尖通常先預(yù)裝在支架上并采用電氣連接。
探針型號(hào) | GLA |
微懸臂材料 | SiN |
電阻材料 | 鈀 |
長(zhǎng)度（μm） | ~150 |
厚度（μm） | ~0.5 |
針尖高度（μm） | 10 |
彈簧常數(shù)（N/m) | ~0.3 |
共振頻率（kHz) | 50 |
針尖半徑 | ＜100 |
可控溫度（℃） | 160 |
圖像模式 | |
接觸模式 | Y |
間歇接觸模式 | Y |
