產(chǎn)品介紹: Tropel®FM200®為精密部件的制造商提供了業(yè)界的表面形態(tài)測量。通過非接觸式光學測量技術(shù)記錄下整個表面的數(shù)據(jù)。FM200能夠快速和準確地對各種表面的平面度、線型和其他表面參數(shù)進行測量。 產(chǎn)品特點： ■ 無接觸和無損傷測量 ■ 適用多種類型材料：半導體，金屬，聚合物，陶瓷，玻璃和其它材料 ■ 適用多種類型晶片：硅/藍寶石/碳化硅/砷化鎵/石英/鍺/鈮酸鋰 ■ 適用多種類型表面：研磨表面，拋光面，超光滑面 ■ 測量多種不同指標： 厚度/TTV/SORI/LTV/LDOF/壓力/翹曲度/彎曲度/平坦度/平面度/線輪廓/表面輪廓 ■ 完整的分析系統(tǒng)： 三維/拓撲/合格率/分布/二維環(huán)形和半徑切面/平面/球面/錐形匹配/局部平面度分析/斜度 ■ 可以實現(xiàn)自動、快速、準確、穩(wěn)定的測量 ■ 超過15年的工業(yè)應用，幾百臺的裝機量
技術(shù)參數(shù)： ■ 度：50nm （2.0μ″） ■ 重復性：15 nm（0.6μ″）（1 sigma） ■ 分辨率：5nm （0.2μ″） ■ 可測量工件尺寸：25mm-200mm ■ 動態(tài)測量范圍：>100um ■ 測量數(shù)據(jù)點：230,000 / measurement ■ 測量時間：5秒 ■ 電源：～220V 50Hz 典型客戶: 國外：Honeywell Electronic Materials，SEI，Showa Denko，SESMI，Saint Gobain，Nikko Materials，Hitachi Cable，Freiberger Compound Materials，Crystal Tech，Samsung，LG，Crystalwise，Wafer Works…… 國內(nèi)：塞維，重慶四聯(lián)，中電46所，山東大學，大連理工大學，中國科學院半導體所，中國科學院物理所，中科晶電，中科鎵英，云南藍晶，青島嘉星晶電，天科合達，大慶佳昌……
