- 產(chǎn)品品牌:
- JEOL日本電子
- 產(chǎn)品型號(hào):
- IB-09010CP
- 類型:
- 電子顯微鏡
凝聚了日本電子公司科技人員多年的夢(mèng)想與實(shí)踐
截面拋光儀 IB-09010CP
- 不管是用機(jī)械研磨法難以制備的樣品,還是軟硬材質(zhì)混合的復(fù)合材料,都能夠制備出光滑的截面。
- 可以獲得平滑的鏡面拋光效果。與機(jī)械研磨法相比,使用截面拋光儀(CP)制備的樣品變形小、晶體結(jié)構(gòu)不易破壞,因而適合于晶體取向分析(EBSD)的前處理。
- 能夠制備出寬度大約為1mm的大截面。
非常適合于鍍層及電子元件的失效分析。 - 采用觸控式面板,操作簡(jiǎn)單。
截面拋光儀IB-09010CP的特點(diǎn)
- 彩色液晶觸控式面板操作:彩色液晶屏顯示加工條件,一目了然。通過觸摸屏即可設(shè)定加工條件。
- 標(biāo)準(zhǔn)配置的CCD相機(jī),用于確定加工位置:屏幕畫面便于觀察,容易對(duì)準(zhǔn)加工位置。
- 離子加速電壓 為8kV (選配):提高了研磨速度。標(biāo)準(zhǔn)的加速電壓為6kV。
SEM應(yīng)用圖例
紙張截面
使用剃刀片等制作紙張截面時(shí),紙纖維的損傷無法避免。從圖中可以看出,使用CP制備的截面損傷較小。 | |
CP制備的截面(背散射電子圖像) |
C Kα (EDS) |
Si Kα (EDS) |
Ca Kα (EDS) |
金線焊接
制備金等軟質(zhì)材料的截面樣品時(shí)不會(huì)對(duì)其造成損傷,另外它還適合于對(duì)焊接結(jié)合部的焊點(diǎn)進(jìn)行評(píng)估。采用傳統(tǒng)機(jī)械研磨法制備樣品會(huì)損壞焊點(diǎn),研磨的磨料嵌入金內(nèi)部甚至?xí)鸾缑鎸觿冸x,形成研磨損傷,而采用截面拋光儀(CP)制備截面樣品則能避免這類損傷。
背散射電子圖像 |
背散射電子圖像 |
主要技術(shù)規(guī)格
離子加速電壓 | 2~6kV |
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離子束直徑 | 500μm(FWHM) |
研磨速度 | 100μm/H (2小時(shí)的平均值,加速電壓:6kV,硅換算, 邊緣距離:100μm) |
搭載樣品尺寸 | 11mm(寬)×10mm(長(zhǎng))×2mm(厚) |
樣品移動(dòng)范圍 | X軸 ±10mm Y軸 ±10mm |
樣品旋轉(zhuǎn)角度調(diào)節(jié)范圍 | ±5º |
樣品加工擺角 | ±30º(申請(qǐng)中) |
操作方法 | 觸控式面板 |
使用氣體 | 氬氣(由質(zhì)量流量控制器控制流量) |
壓力測(cè)試 | 潘寧真空計(jì) |
主抽真空裝置 | 渦輪分子泵 |
輔抽真空裝置 | 機(jī)械泵 |
尺寸/重量 | 主機(jī) 545 mm(寬)×550 mm(長(zhǎng))×420 mm(高) 64kg |
機(jī)械泵 | 150 mm(寬)×427 mm(長(zhǎng))×230.5 mm(高) 16kg |
選配件 | 加速電壓8 kV 單元 旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái) 高定位CCD相機(jī) |
安裝條件
電源 | 單相100~120V±10%、50/60Hz、0.5~0.6kVA |
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地線 | 獨(dú)立地線(100Ω以下) |
氬氣 | 使用圧力:
0.15±0.05MPa(1.0~2.0kg/cm²) 純度高于99.9999%(氬氣、氣瓶及調(diào)壓器由客戶自行準(zhǔn)備。) 膠管接頭: JIS B0203 Rc 1/4 |
室溫 | 20~25℃(變動(dòng): 1℃/h以內(nèi)) |
濕度 | 小于60% |