原子力顯微鏡（AFM）或掃描探針（SPM）技術(shù)，是測(cè)量表面形貌或表面微小作用力準(zhǔn)確有效的技術(shù)。位于懸臂梁末端的探針與試樣表面接觸，并對(duì)試樣表面進(jìn)行數(shù)字化掃描。通過(guò)這種技術(shù)，我們可以得到試樣表面的超高分辨率三維形貌。這項(xiàng)技術(shù)特別適用于殘留劃痕、壓痕以及其他納米尺度表面特征形貌的高分辨率成像。
瑞士CSM儀器公司三十年來(lái)致力于為材料、物理、機(jī)械工作者提供先進(jìn)、精準(zhǔn)、全面的材料機(jī)械性質(zhì)測(cè)試儀器、分析咨詢以及測(cè)試服務(wù)。我們的主要產(chǎn)品包括：
測(cè)量材料硬度和彈性模量的納米級(jí)、微米級(jí)儀器化壓入測(cè)試儀（納米壓痕儀, 顯微壓痕儀）；
界定膜基結(jié)合強(qiáng)度、薄膜抗劃擦能力的納米級(jí)、微米級(jí)、大載荷劃痕測(cè)試儀 (Scratch tester) ；
包括真空、高溫以及線性往復(fù)運(yùn)動(dòng)等選項(xiàng)的摩擦磨損測(cè)試儀、納米摩擦儀 (摩擦磨損試驗(yàn)機(jī) ；
簡(jiǎn)便易用的膜厚測(cè)試儀；
用于三維成像表征材料表面形貌的原子力顯微鏡 (AFM) 和白光共聚焦顯微鏡 (Confocal Microscope) 。
主要特點(diǎn)：
特點(diǎn)
光學(xué)顯微鏡與原子力顯微鏡的結(jié)合使表面量化分析成為可能
光學(xué)顯微鏡可將表面細(xì)節(jié)放大到具有亞納米尺寸分辨率的圖像
微米與納米結(jié)構(gòu)的分析
臨界尺寸(CD)的測(cè)量
對(duì)腐蝕結(jié)構(gòu)與粗糙度的測(cè)量分析
薄膜表面輪廓分析
弱光學(xué)對(duì)比度表面測(cè)量
生物材料及其他材料表面研究領(lǐng)域的應(yīng)用
選件
非接觸掃描模式
摩擦力掃描模式
磁性力掃描模式
脈沖力掃描模式
靜電力掃描模式
熱掃描模式
電導(dǎo)顯微鏡
液體介質(zhì)測(cè)量模塊
