- 企業(yè)類型：制造商
- 新舊程度：全新
TDC-200膜層控制儀在線測量和控制鍍膜的速率和膜層的厚度，具有閉環(huán)控制沉積速率，與光學(xué)控制設(shè)備配合使用，可完成復(fù)雜的光學(xué)鍍膜。本儀器可以控制單層或多層膜的沉積，通過對沉積工藝的數(shù)字化控制，大幅提高鍍膜的質(zhì)量和可重復(fù)性?？墒褂萌詣幽Ｊ絹硗瓿蓮?fù)雜膜系的制備，同時又提供了半自動和手動的控制方式，與自動化程度不同的鍍膜設(shè)備協(xié)同工作。 ▲ 配置 TDC-200膜層控制儀可支持標(biāo)準(zhǔn)單探頭、帶擋板單探頭和帶擋板雙探頭。 TDC-200膜層控制儀配備了RS-232工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)通信接口，配合本公司提供的計算機控制軟件，方便用戶在計算機上進行膜系編程，通過計算機進行數(shù)據(jù)采集和數(shù)據(jù)分析，實現(xiàn)遠程控制。用戶也可根據(jù)本公司提供的通信協(xié)議進行二次開發(fā)，在自行設(shè)計的軟件中集成測量和控制功能，可方便地實現(xiàn)系統(tǒng)集成。 TDC-200膜層控制儀具有16個獨立輸入/輸出端口。具有兩個高的源控制電壓輸出，以配合有兩個源的真空鍍膜設(shè)備，特別是在進行多層鍍膜時，大大提高了控制,進而提高鍍膜質(zhì)量。 ▲ 編程 TDC-200型膜層控制儀采用全中文人機操作界面,易于使用。配備256x128大型圖形點陣LCD，低功耗LED背光，整屏顯示內(nèi)容多，并支持滾屏，用戶編程和操作方便快捷。 TDC-200膜層控制儀具有5個可編程工藝膜系，每個工藝膜系多能設(shè)定99層，共計495個膜層。包含一個267種材料的材料參數(shù)庫，其中已定義的材料為257種，未定義的材料10種，可由用戶自行設(shè)定。 ▲ 功能 TDC-200膜層控制儀提供給用戶厚度、速度、功率等實時數(shù)據(jù)，以便用戶可以對實時數(shù)據(jù)進行分析，并提供速度曲線和功率曲線，通過觀察過程曲線了解鍍膜情況，方便用戶迅速找到的控制工藝。 TDC-200膜層控制儀采用閉環(huán)控制技術(shù)穩(wěn)定材料的沉積速率，與光學(xué)控制設(shè)備配合使用時，可配合光學(xué)測量系統(tǒng)測量膜層的光學(xué)厚度，用來補償物理厚度和光學(xué)厚度之間的偏差，可以滿足復(fù)雜的光學(xué)鍍膜工藝要求。 在鍍膜過程中，當(dāng)晶片無效時，TDC-200膜層控制儀能自動設(shè)定中斷，并啟動切換程序，控制雙探頭系統(tǒng)，待晶片切換成功后，繼續(xù)恢復(fù)鍍膜，以確保多層鍍膜工藝連續(xù)性。 規(guī)格
| 測量 頻率計算 0.03Hz(在6.0MHz) 頻率顯示 0.01Hz 測量速率 10Hz 顯示 厚度顯示 000000?～999999? 速率顯示 000.0～999.9 ?/s 功率顯示 00.0～99.9% 時間顯示 00:00:00～23:59:59（時:分:秒）圖形顯示 256x128LCD，低功耗LED背光 存儲能力 膜系 40個層 每膜系99層，共3960層材料庫 已定義257種材料，用戶可再定義 10種材料 通訊 通訊接口 標(biāo)配RS-232串行口 WINDOWS軟件 選配 | 控制能力 膜系 40 層/膜系 01～99 源 1～2 坩堝 1～12 探頭規(guī)格 標(biāo)準(zhǔn)單探頭帶擋板單探頭（可選）帶擋板雙探頭（可選） 探頭數(shù)量 可支持2路 源電壓輸出范圍 0～±2.5V 0～±5V 0～±10V 輸出能力 16個繼電器,2A 輸入能力 16個隔離通道,可接入交直流 信號 供電要求 220V（±5%），50Hz，功率 ≤40W 工作溫度 0℃～50℃ 儀器尺寸 135 x 480x360mm(高x寬x 深)，可用于19’標(biāo)準(zhǔn)工業(yè)機架 儀器重量 5.5Kg |
