兩探針電阻率測試儀是按照我國國家標準GB/T1551-1995及美國材料與試驗協(xié)會(ASTM)推薦的材料驗收檢測方法設計。它適合于測量橫截面面積均勻的圓型,方型或矩形單晶錠的電阻率,在硅芯、檢驗棒電阻率測量上測量準確。由于硅芯電阻率測試儀的測量電流是從長棒兩端進出,遠離電壓測量探針,因此減少了電流流過金屬與半導體接觸處產(chǎn)生的許多副效應,如珀爾帖效應、塞貝克效應、少子注入效應等,使得測量大大提高。產(chǎn)品特點
本儀器主要由電氣測量部份(簡稱:主機)、測試臺及兩探針頭組成。儀器的特點是主機配置雙數(shù)字表,在測量電阻率的同時,另一塊數(shù)字表(以萬分之幾的)適時監(jiān)測全程的電流變化,免除了測量電流/測量電阻率的轉(zhuǎn)換,更及時掌控測量電流。主機還提供為0.05%的恒流源,使測量電流高度穩(wěn)定。本機配有恒流開關(guān),在測量某些材料時,可免除探針尖與被測材料之間接觸火花的發(fā)生,更好地保護被測材料。儀器配置“小游移探針頭”,間距為1.59mm的兩探針頭探針游移率在0.2%以下。保證了儀器測量電阻率的重復性的準確度。本機配用測量軟件,設計語言為VC ,可對四探針、兩探針電阻率測量數(shù)據(jù)進行處理并修正測量數(shù)據(jù),特定數(shù)據(jù)存儲格式,顯示變化曲線、正反向電阻率平均值、電阻率的值、電阻率小值,給測量帶來很大方便。
兼容性:適用于通用電腦,支持Windows XP、Vista。
技術(shù)參數(shù) 測量范圍
■ 可測硅晶體電阻率:0.005-50000Ω·cm
■ 可測硅棒尺寸:長度300mm;直徑20mm(均可按用戶要求更改)。
恒流源 ■ 輸出電流:DC0.001-100mA 五檔連續(xù)可調(diào)
■ 量程: 0.001-0.01mA(1-10μA)
0.01-0.1mA(10-100μA)
0.1-1.0mA
1.0-10mA
10-100mA
■ 恒流:各檔均優(yōu)于±0.05%
直流數(shù)字電壓表 ■ 測量范圍:0-199.99mV
■ 靈敏度:10μA
■ 基本誤差:±(0.004%讀數(shù)±0.01%滿度)
■ 輸入阻抗:≥0.3%
電阻測量誤差 ■ 誤差:≤0.3%
探針參數(shù) ■ 兩探針頭
■ 探針間距:1.59±0.01mm 探針直徑Φ0.8mm
■ 游移率:<0.2% 探針材料:硬質(zhì)合金(WC)
■ 探針壓力:3±1N/單針
供電電源 ■ AC 220V ±10% 50/60 Hz. 功率:12W
使用環(huán)境 ■ 溫度:23±2℃ 相對溫度:≤65%
■ 無較強的電場干擾,無強光直接照射。
重量、體積 ■ 主機重量:7.5Kg