| 屬臺面尺寸(mm) | 760×640 | 800×550 | 800×800 | 750×1000 | 1140×1360 | 1340×1660 | |||||||||
| 玻璃臺面尺寸(mm) | 550×350 | 650×450 | 650×650 | 650×850 | 1050×1250 | 1250×1550 | |||||||||
| 運動行程(mm) | 500×300 | 600×400 | 600×600 | 600×800 | 1000×1200 | 1200×1500 | |||||||||
| Z軸升降行程 | 200mm | ||||||||||||||
| 工作距離 | 92mm | ||||||||||||||
| X、Y、Z數(shù)顯解析度 | 1μm | ||||||||||||||
| X、Y坐標(biāo)示值誤差 | ≤(3+L/200)μm | ||||||||||||||
| 影像系統(tǒng) |
| ||||||||||||||
| 測量系統(tǒng) | Mclns全自動測量軟件 | ||||||||||||||
北京精成光學(xué)儀器廠
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