品名  掃描探針顯微鏡
型號(hào)  E-sweep 
概要  大氣中、真空中、溶液中等，對(duì)應(yīng)各種各樣的測(cè)定環(huán)境的環(huán)境控制單位?？稍诓煌瑴囟葧r(shí)測(cè)量樣品表面的形貌和物性的變化，對(duì)升溫條件進(jìn)行程序設(shè)定，搭載了能夠檢出溫度連續(xù)變化過程時(shí)的表面物性的変化的表面轉(zhuǎn)移溫度顯示器功能。 SFT9000系列里的機(jī)型就是SFT9455。搭載著75W高性能X射線管和雙向分離工檢測(cè)器(半導(dǎo)體檢測(cè)器+比例計(jì)數(shù)管)，符合“薄膜”、“合金膜”、“極微小部分測(cè)定”等鍍膜厚度測(cè)定要求的高性能膜厚度測(cè)量?jī)x。SFT9455還在鍍膜厚度測(cè)定功能的基礎(chǔ)之上增加了異物定性和查資料成分分析的功能。 
特長(zhǎng) 
1. 對(duì)應(yīng)環(huán)境測(cè)定需求(光學(xué)系的大氣中配置 / 連續(xù)加熱、冷卻對(duì)應(yīng))
能夠在以前的大氣型SPM無法實(shí)現(xiàn)的環(huán)境下進(jìn)行測(cè)定的環(huán)境控制型SPM。能夠小限度控制表面吸附水的影響，在高真空狀態(tài)下進(jìn)行電測(cè)量、加熱或冷卻狀態(tài)的樣品的物性圖像等。 另外，新開發(fā)的『溫度掃描功能』可監(jiān)視由于溫度変化而引起的樣品熱膨脹和收縮的Z軸測(cè)定區(qū)域脫落，通過控制反饋信號(hào)，使懸臂在接觸樣品表面時(shí)的連續(xù)物性測(cè)定成為可能。
(號(hào)、號(hào))  
●大氣中　●液體中　●真空中　●氣體氣氛(流量控制)
●溫度控制 加熱?冷卻(-120～300℃)　高溫(室溫～800℃)　
●濕度控制(0～80%)
●外加磁場(chǎng)(水平、垂直、面內(nèi)旋轉(zhuǎn)、max 5000 Oe )對(duì)應(yīng)！
(專用零配件使用)  
2. 簡(jiǎn)易操作的實(shí)現(xiàn)(綜合型Holder Flange)
通過采用不需使用工具的『綜合型Holder Flange開閉功能』，樣品和掃描器更換更為容易的同時(shí)，免去了作為環(huán)境控制SPM的樣品更換后的所必需的光軸調(diào)整。 也沒有必要進(jìn)行測(cè)定模式切換時(shí)的支架更換。 
3. 卓越的高性能的確立
采用了『Swing Cancel功能』。徹底減少了樣品的起伏波動(dòng)，控制了偏差量。提高了在超微需求的構(gòu)造分析中不可或缺的基本性能，提升了可信度。
偏差量：0.015nm/sec以下
4. 通過減輕表面吸附水的影響，提高了電物性模式的分辨率
觀察電特性等的場(chǎng)合，因?yàn)闃悠繁砻婧吞结樃街乃值挠绊?，有分辨率下降的可能性?通過使其變?yōu)檎婵諣顟B(tài)，排除了附著在表面的水分?污染物等，使物性觀察模式的高分辨率且高感度的觀察成為可能。
 
規(guī)格
分辨率 原子相
樣品尺寸 20mmφ、厚度10ｍｍ對(duì)應(yīng) 以加高擋板(零配件)對(duì)應(yīng)至厚度20mm
樣品移動(dòng)范圍 X-Y stage 5mm
掃描范圍
標(biāo)準(zhǔn)： 20µm□/1.5µmH對(duì)應(yīng)
• 150µm□/5µmH對(duì)應(yīng)
• 15µm□/1.5µmH對(duì)應(yīng)(閉環(huán)固定偏差控制)

定位顯微鏡  
• 簡(jiǎn)易顯微鏡(×200倍)
• 光學(xué)顯微鏡(×1000倍)
• ズーム顯微鏡(×700倍)
• 金屬顯微鏡(裝有微分干渉)(×2000倍)

測(cè)定功能
• AFM(接觸模式)
• DFM(輕敲模式)
• PM(相位)
• FFM(摩擦)
• MFM(磁力) • SIS模式
• LM-FFM(橫振動(dòng)摩擦)
• VE-AFM/DFM(粘彈性)
• Adhesion(吸附力)
• CURRENT(電流)
• SSRM(擴(kuò)展抵抗)
• SNDM
• PRM(壓電響應(yīng))、KFM(表面電位)
• 液體中AFM/DFM
• EC-AFM/STM
• NanoIndentation(硬度)
• Nano-TA(微區(qū)加熱)

零配件
高溫加熱樣品臺(tái)
加熱冷卻兼用樣品臺(tái)
冷卻真空
溫度控制