品名  掃描探針顯微鏡
型號(hào)  L-traceⅡ  
概要  可以全自動(dòng)多點(diǎn)測(cè)定，可以對(duì)應(yīng)至6英寸(8英寸)的大型樣品。另外，通過采用精密掃描器和低相干光源，能夠更正確且高地測(cè)量出超微需求的形貌。 
特長(zhǎng) 
1. 大型樣品的形貌測(cè)定
新一代大型Stage單位L-traceⅡ能夠?qū)?yīng)各種各樣的大型樣品的通用型SPM。能夠搭載6英寸(8英寸)φ的試料，因?yàn)槟軌蜃詣?dòng)多點(diǎn)同時(shí)連續(xù)測(cè)定，是能夠適應(yīng)品質(zhì)管理的系統(tǒng)。任何人都能夠容易地進(jìn)行超微測(cè)量?jī)x表刻度的測(cè)定。 標(biāo)準(zhǔn)裝備大型樣品stage?？梢匀嬗^察至6英寸(150mm)φ的試料。(8英寸(200mm)φStage是零配件) 
2. 減少通過新Accurate掃描器進(jìn)行Z動(dòng)作時(shí)的X、Y方向的串線失真
新一代大型機(jī)L-traceⅡ不僅是關(guān)注大多數(shù)的SPM的信噪比與偏差問題，更著眼于起因于掃描器的X-Y串線失真的測(cè)量誤差。使用公認(rèn)的、更的蠕變與磁滯現(xiàn)象較少的「閉環(huán)固定偏差掃描器」，以及通過搭載X-Y串線失真很少的「Accurate掃描器」，大大提升了測(cè)定形貌的可信度。大多數(shù)的SPM所有的形貌測(cè)定輸出的不對(duì)稱性和X-Y形狀歪曲的問題得到了解決。
3. 控制了因?yàn)榈拖喔晒鈱W(xué)系引起的干渉條紋噪音
通過采用「低相干(光干渉很少)光源」，去除了高輸出時(shí)的模式Hop噪音和反光的噪音發(fā)生，使S/N比提高了1.5倍。使超微需求的更高分辨率觀察成為可能。
4. 通過對(duì)話式觸摸屏的簡(jiǎn)易操作
把觸摸屏裝備在儀器的前部。能夠容易地進(jìn)行Stage的移動(dòng)和光學(xué)顯微鏡的倍率變化。另外，還可以看到關(guān)于操作和保養(yǎng)的方法的提示，能夠進(jìn)行高效率的作業(yè)。
5. 通過測(cè)定導(dǎo)航功能的懸臂自動(dòng)交換
就算是初次使用的人員，每次測(cè)定都不必看操作手冊(cè)。導(dǎo)航功能將把從懸臂安裝～調(diào)試～測(cè)定參數(shù)決定～圖像處理與分析～直到輸出的一系列的操作，用Wizard形式作出引導(dǎo)。懸臂會(huì)預(yù)先并排于Stage上的專用臺(tái)，只要向光學(xué)顯微鏡的中心移動(dòng)懸臂前端，就能夠進(jìn)行定位和組裝。

主要產(chǎn)品規(guī)格
分辨率 水平：0.5nm 垂直：0.05nm
樣品尺寸 150mmφ、厚度22ｍｍ對(duì)應(yīng)200mmφ、厚度12mm對(duì)應(yīng) (可以選擇樣品Stage)
樣品驅(qū)動(dòng)范圍  X-Y Stage 150mm x 110mm
掃描范圍  標(biāo)準(zhǔn)： 90µm□／6µmH對(duì)應(yīng)(Accurate掃描儀搭載)定位顯微鏡 內(nèi)裝變焦顯微鏡(X285～1100倍)搭載
測(cè)定功能
• AFM(接觸模式)
• DFM(輕敲模式)
• PM(相位)
• FFM(摩擦)
• MFM(磁力) • SIS模式
• LM-FFM(橫振動(dòng)摩擦)
• VE-AFM/DFM(粘彈性)
• Adhesion(吸附力)
• CURRENT(電流)
• SSRM(控展抵抗)
• PRM(壓電響應(yīng))、KFM(表面電位)
 
零配件 軟性X線式靜電除去系統(tǒng)(附有X線泄露防止罩)
檢出系 低相干型光學(xué)杠桿方式,4分割變位檢出系