原理
利用白光干涉測(cè)量法的原理,NanoCalc-2000用一個(gè)寬光譜的光源來(lái)測(cè)得不同波長(zhǎng)的反射數(shù)據(jù),由于反射率n和消光系數(shù)k隨膜厚的不同而變化,NanoCalc-2000根據(jù)這一特性來(lái)進(jìn)行曲線擬合從而求得膜厚。在NanoCalc-2000中,不同類型材料的相應(yīng)參數(shù)通過(guò)不同的模型來(lái)描述,從而保證了不同類型材料膜厚測(cè)量的準(zhǔn)確性。
特點(diǎn)
- UV/VIS/NIR高分辨率的配置
- 測(cè)量準(zhǔn)確度在1nm,在0.1nm
- 可測(cè)量4層薄膜的任意3層
- 薄膜測(cè)量小可至10nm,可至400um
- 可測(cè)量小1nm厚的透明金屬層
- 提供用于復(fù)雜外形材料測(cè)量的試驗(yàn)臺(tái)及附件
- 對(duì)表面缺陷和光滑度不敏感
- 龐大的材質(zhì)數(shù)據(jù)庫(kù),保證各種材料的測(cè)量
技術(shù)參數(shù)