和常規(guī)橢偏儀相比,SPECEI-2000要便宜一半左右,并且還具有以下特點(diǎn),系統(tǒng)集成了光源、導(dǎo)光器件,可旋轉(zhuǎn)的偏光鏡、樣品臺、CCD陣列光譜儀等器件,其光源入射角設(shè)定在70°,但用戶可根據(jù)需要設(shè)定為65到75°,整套儀器想當(dāng)小巧,尺寸僅為52cm*33cm*24cm。
特點(diǎn)
膜厚準(zhǔn)確度在1nm,在0.1nm
可測量多達(dá)25層膜厚
每層膜厚可從0.1nm至8um,450-900nm的光譜范圍
光斑大小為2mm*4mm,光學(xué)分辨率為200um*400um
適合于平面半透明的材料測量,如晶片、玻璃、薄膜和金屬箔等
可選項(xiàng)包括2D位移功能,標(biāo)準(zhǔn)晶片等
附帶的軟件可以非常容易地存儲和載入不同的測量組合模式
技術(shù)指標(biāo)