●可配國內(nèi)外各個廠家的直線電機和光柵尺
●可配國內(nèi)外各個廠家的直線電機驅(qū)動器、控制卡、工控機
●可選購重防護型,用于精密超精密生產(chǎn)設備
●上面可以裝氣浮轉(zhuǎn)臺(θ)
●可以增加Z向
●上面可以裝微動臺和反射鏡,配合激光干涉儀,達到納米級
●可提供訂制服務,提供不同行程、承載、速度和的一維氣浮工作臺
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●可提供訂制服務,提供不同行程、承載、速度和的一維氣浮工作臺