1 、干涉顯微鏡為自主設(shè)計(jì),具有4x、10x、20x、40x、60x、100x等顯微鏡組,用戶可根據(jù)測(cè)量視場(chǎng)范圍及橫向分辨率的要求挑選。而WIVS—I型由于是6JA干涉顯微鏡改造而來(lái),其物鏡是固定的,為40x。因此WIVS-II型干涉顯微鏡的測(cè)量視場(chǎng)擴(kuò)大了,顯微鏡的分辨率,范圍的選擇擴(kuò) 大了。
2 、WIVS-II型 垂直掃描白光干涉表面輪廓測(cè)量?jī)x垂直掃描時(shí)的驅(qū)動(dòng)對(duì)象為:
驅(qū)動(dòng)鏡頭進(jìn)行垂直方向的掃描。