1、簡(jiǎn)介
由于受到觸針針尖半徑等的影響，觸針式表面輪廓儀橫向分辨率受到限制，對(duì)于峰峰值很小的表面，觸針很難伸到谷底，測(cè)得的輪廓失真嚴(yán)重。而且由于接觸測(cè)量，鋒利的針尖會(huì)劃傷測(cè)量表面，同時(shí)觸針使用一段時(shí)間后會(huì)產(chǎn)生磨損，都會(huì)使測(cè)量結(jié)果不可靠。因此非接觸測(cè)量成為表面測(cè)量的一個(gè)重要方向。
干涉顯微鏡自上世紀(jì)至今一直是非接觸測(cè)量高等級(jí)表面粗糙度的主要儀器。上海光機(jī)廠生產(chǎn)的6JA干涉顯微鏡是國(guó)內(nèi)市場(chǎng)上的主要產(chǎn)品。6JA干涉顯微難以滿足科技不斷發(fā)展的需要。不過(guò)在它基礎(chǔ)上發(fā)展起來(lái)的垂直掃描干涉顯微鏡近年來(lái)得到廣泛的應(yīng)用。如美國(guó)VEECO公司的Wyko NT系列光學(xué)輪廓儀，Taylor-Hobson公司的CCI工藝光學(xué)輪廓儀等。國(guó)內(nèi)市場(chǎng)幾乎被國(guó)外公司壟斷。
2、主要特點(diǎn)
WIVS—1型垂直掃描白光干涉輪廓測(cè)量?jī)x在6JA干涉顯微鏡的基礎(chǔ)上改造而成。
1） 保留原顯微鏡人工讀數(shù)、評(píng)定功能。
2） 可通過(guò)單幅圖像原理，獲取二維參數(shù)及曲線。
3） 垂直掃描由自主設(shè)計(jì)的反鏡式垂直掃描工作臺(tái)完成，具有粗、精兩級(jí)，其垂直位移量由衍射光柵干涉計(jì)量，工作臺(tái)具有大量程高特征。
4 ）可以用兩種方法測(cè)量表面三維參數(shù)及圖形：
（1）對(duì)峰谷高度小于 的表面，可采用相移法測(cè)量，其分辨率小于1nm
（2）對(duì)峰谷高度大于 的表面，可采用垂直位移掃描測(cè)量，其分辨率約為3nm，測(cè)量峰谷高度可達(dá)40um。
5） 可用于0-5mm范圍內(nèi)的尺寸測(cè)量。測(cè)量分辨率達(dá)5nm。
6）由于采用目前使用廣泛的6JA干涉顯微鏡，調(diào)試與6JA大部分相同，熟悉6JA干涉顯微鏡使用的人可方便使用該儀器。
3、技術(shù)指標(biāo)
垂直測(cè)量范圍 0～50 顯微鏡數(shù)值孔徑 0.65
垂直分辨率 0.5nm 顯微鏡放大倍數(shù) 40倍
測(cè)量區(qū)域 0.25 mm 顯微鏡工作距離 2mm?
光學(xué)分辨率 0.5 CCD有效像素 752X582
表面反射率 0.3％～100％
測(cè)量時(shí)間 二維：1～5秒
三維：15～30秒
注： 顯微鏡為基本配置，若需擴(kuò)大視場(chǎng)或提高光學(xué)分辨率，可配置相應(yīng)的顯微鏡，但需特殊訂貨。
4、儀器構(gòu)成
1、寬帶光干涉儀（改進(jìn)的6JA干涉顯微鏡）
2、垂直位移掃描工作臺(tái)
3、攝像及圖像處理系統(tǒng)
4、工控機(jī)
5、用途
主要用來(lái)測(cè)量二、三維表面粗糙度、臺(tái)階、溝槽高度和表面輪廓尺寸，適用于工礦企業(yè)工程表面粗糙度測(cè)量，工程表面的科學(xué)研究，以及中高等學(xué)?！盎Q性與測(cè)量技術(shù)基礎(chǔ)” 、“精密測(cè)量技術(shù)”、“機(jī)械制造工藝”等課程的實(shí)驗(yàn)
由于受到觸針針尖半徑等的影響，觸針式表面輪廓儀橫向分辨率受到限制，對(duì)于峰峰值很小的表面，觸針很難伸到谷底，測(cè)得的輪廓失真嚴(yán)重。而且由于接觸測(cè)量，鋒利的針尖會(huì)劃傷測(cè)量表面，同時(shí)觸針使用一段時(shí)間后會(huì)產(chǎn)生磨損，都會(huì)使測(cè)量結(jié)果不可靠。因此非接觸測(cè)量成為表面測(cè)量的一個(gè)重要方向。
干涉顯微鏡自上世紀(jì)至今一直是非接觸測(cè)量高等級(jí)表面粗糙度的主要儀器。上海光機(jī)廠生產(chǎn)的6JA干涉顯微鏡是國(guó)內(nèi)市場(chǎng)上的主要產(chǎn)品。6JA干涉顯微難以滿足科技不斷發(fā)展的需要。不過(guò)在它基礎(chǔ)上發(fā)展起來(lái)的垂直掃描干涉顯微鏡近年來(lái)得到廣泛的應(yīng)用。如美國(guó)VEECO公司的Wyko NT系列光學(xué)輪廓儀，Taylor-Hobson公司的CCI工藝光學(xué)輪廓儀等。國(guó)內(nèi)市場(chǎng)幾乎被國(guó)外公司壟斷。
2、主要特點(diǎn)
WIVS—1型垂直掃描白光干涉輪廓測(cè)量?jī)x在6JA干涉顯微鏡的基礎(chǔ)上改造而成。
1） 保留原顯微鏡人工讀數(shù)、評(píng)定功能。
2） 可通過(guò)單幅圖像原理，獲取二維參數(shù)及曲線。
3） 垂直掃描由自主設(shè)計(jì)的反鏡式垂直掃描工作臺(tái)完成，具有粗、精兩級(jí)，其垂直位移量由衍射光柵干涉計(jì)量，工作臺(tái)具有大量程高特征。
4 ）可以用兩種方法測(cè)量表面三維參數(shù)及圖形：
（1）對(duì)峰谷高度小于 的表面，可采用相移法測(cè)量，其分辨率小于1nm
（2）對(duì)峰谷高度大于 的表面，可采用垂直位移掃描測(cè)量，其分辨率約為3nm，測(cè)量峰谷高度可達(dá)40um。
5） 可用于0-5mm范圍內(nèi)的尺寸測(cè)量。測(cè)量分辨率達(dá)5nm。
6）由于采用目前使用廣泛的6JA干涉顯微鏡，調(diào)試與6JA大部分相同，熟悉6JA干涉顯微鏡使用的人可方便使用該儀器。
3、技術(shù)指標(biāo)
垂直測(cè)量范圍 0～50 顯微鏡數(shù)值孔徑 0.65
垂直分辨率 0.5nm 顯微鏡放大倍數(shù) 40倍
測(cè)量區(qū)域 0.25 mm 顯微鏡工作距離 2mm?
光學(xué)分辨率 0.5 CCD有效像素 752X582
表面反射率 0.3％～100％
測(cè)量時(shí)間 二維：1～5秒
三維：15～30秒
注： 顯微鏡為基本配置，若需擴(kuò)大視場(chǎng)或提高光學(xué)分辨率，可配置相應(yīng)的顯微鏡，但需特殊訂貨。
4、儀器構(gòu)成
1、寬帶光干涉儀（改進(jìn)的6JA干涉顯微鏡）
2、垂直位移掃描工作臺(tái)
3、攝像及圖像處理系統(tǒng)
4、工控機(jī)
5、用途
主要用來(lái)測(cè)量二、三維表面粗糙度、臺(tái)階、溝槽高度和表面輪廓尺寸，適用于工礦企業(yè)工程表面粗糙度測(cè)量，工程表面的科學(xué)研究，以及中高等學(xué)?！盎Q性與測(cè)量技術(shù)基礎(chǔ)” 、“精密測(cè)量技術(shù)”、“機(jī)械制造工藝”等課程的實(shí)驗(yàn)
