產(chǎn)品功能
ZLM800微位移測(cè)量激光干涉儀——雙頻激光干涉儀，主要用于微位移部件的測(cè)量、角度變化量的監(jiān)測(cè)、移動(dòng)平臺(tái)運(yùn)動(dòng)情況的檢測(cè)、光刻機(jī)幾何量的測(cè)量、數(shù)控機(jī)床幾何量的測(cè)量等，多可實(shí)現(xiàn)六軸聯(lián)動(dòng)。也可通過(guò)位移+偏擺+俯仰的三角關(guān)系測(cè)量檢測(cè)物體的振動(dòng)變化。
性能優(yōu)勢(shì)
l 真正意義上的雙頻激光干涉儀，頻差為640MHz。請(qǐng)用戶注意“激光干涉儀”和“雙頻激光干涉儀”概念的區(qū)別，眾所周知雙頻激光干涉儀更好、性能更穩(wěn)定。世界范圍內(nèi)只有兩家雙頻激光干涉儀的生產(chǎn)商，德國(guó)耶拿爾公司是其中的一家。
l 部件皆在德國(guó)生產(chǎn)制造，非為了降而在第三方進(jìn)行部件加工。光學(xué)組件采用蔡司光學(xué)鏡，是世界上一家將的蔡司光學(xué)鏡用于激光干涉儀領(lǐng)域的產(chǎn)品制造商。
l 激光器壽命更長(zhǎng)，可達(dá)20000小時(shí)，激光穩(wěn)頻高，一小時(shí)內(nèi)為±0.002ppm，在產(chǎn)品壽命內(nèi)可達(dá)±0.02ppm。
l 干涉鏡采用差分干涉原理，系統(tǒng)更高，可達(dá)±0.4ppm。
l 計(jì)算機(jī)輔助光路調(diào)整，調(diào)整結(jié)果更準(zhǔn)確。
l 采樣頻率更快，達(dá)1MHz，可在0.001Hz-1MHz之間進(jìn)行選擇。
l 被測(cè)物體速度16m/s（可選）；采用高AE950 PCI數(shù)據(jù)處理器，分辨率達(dá)0.6nm（當(dāng)移動(dòng)速度為1m/s時(shí)，線性分辨率更可為0.1nm）。
l 無(wú)加速度限制；當(dāng)光線微弱時(shí)，性能也十分穩(wěn)定。
l 信號(hào)<200ns；對(duì)電磁干擾不敏感。
l 對(duì)于多軸聯(lián)動(dòng)的復(fù)雜光路測(cè)量和微位移測(cè)量，ZLM800型是理想的選擇。
技術(shù)參數(shù) 型號(hào)：ZLM800 使用數(shù)據(jù)處理器AE950 PCI He-Ne激光平均波長(zhǎng)： 632.8 nm 激光穩(wěn)頻： 一小時(shí)2x10-9（±0.002ppm） 壽命內(nèi)2x10-8（±0.02ppm） 系統(tǒng)（0-40℃時(shí)）： ±0.4ppm 光束直徑： 6mm (可選3.2mm) 激光管突發(fā)輸出功率： 1mW (激光等級(jí)2) 每束光可測(cè)量的軸數(shù)： 多6個(gè) 線性測(cè)量距離： 40m，可擴(kuò)展為120m 角度測(cè)量范圍： ± 15°，20m軸線范圍 平面度測(cè)量范圍： 20m行程 直線度測(cè)量范圍： ± 5mm，2m或10m行程， 選用角度干涉儀可測(cè)30m行程 垂直度測(cè)量范圍： ± 5mm，2m或10m行程， 30m行程需用角度干涉儀 速度： 4m/s，可選16m/s 80rad/s，角速度 加速： 無(wú)限制 采樣頻率： 內(nèi)部1MHz，外部40MHz 預(yù)熱時(shí)間： 10分鐘 /非線性： ±0.3nm (角隅反射鏡) ±0.1nm (平面反射鏡) 距離測(cè)量分辨率： 0.6nm (角隅反射鏡) 0.3nm (平面反射鏡) 0.1nm 可選 距離測(cè)量： (20°±0.5°) 使用AUK時(shí) (20°±0.5°) 真空中時(shí) ±0.4ppm (μ/m) ±0.08 (±0.02)ppm (μ/m) 線性度測(cè)量分辨率： 0.6nm (角隅反射鏡) 0.3nm (平面反射鏡) 0.1nm 可選 線性度測(cè)量： (20°±0.5°) 使用AUK時(shí) (20°±0.5°) 真空中時(shí) ±0.4ppm (μ/m) ±0.08 (±0.02)ppm (μ/m) 速度測(cè)量： ±0.5ppm實(shí)測(cè)值 角度測(cè)量分辨率： 0.015μrad (3x10-3 弧秒) 角度測(cè)量： ±0.1ppm實(shí)測(cè)值 平面度測(cè)量分辨率： 0.015μrad (3x10-3 弧秒) 平面度測(cè)量： ±0.2%實(shí)測(cè)值 ±0.05 弧度/米運(yùn)行距離 直線度測(cè)量分辨率： 36nm，10m行程 7.25nm，2m行程 直線度測(cè)量： ±0.5%實(shí)測(cè)值，2m行程 ± 2.5%實(shí)測(cè)值，10m行程 垂直度測(cè)量分辨率： 36nm，10m行程 7.25nm，2m行程 垂直度測(cè)量： ±0.5%實(shí)測(cè)值2m，± 0.5弧秒* ±2.5%實(shí)測(cè)值10m，± 0.5弧秒* 數(shù)據(jù)接口： 積分信號(hào)
32 Bit (實(shí)時(shí)時(shí)間)
Dt ? 20 ns數(shù)據(jù)分析標(biāo)準(zhǔn)： ISO230/VDI3441/VDI2617/NMTBA 工作環(huán)境： 溫度：15°C-30°C 濕度：<90%無(wú)冷凝 儲(chǔ)存環(huán)境： 溫度：10°C-40°C 濕度：<95%無(wú)冷凝
應(yīng)用 以下是為某項(xiàng)目設(shè)計(jì)的ZLM800雙頻激光干涉儀兩個(gè)應(yīng)用。在個(gè)中，用兩個(gè)3軸角度干涉儀分別兩個(gè)擺鏡的擺動(dòng)，實(shí)時(shí)測(cè)試兩個(gè)擺鏡對(duì)應(yīng)量（俯仰、偏擺和位移）的差異情況。在第二個(gè)中，用一個(gè)3軸角度干涉儀來(lái)測(cè)試擺鏡的鏡面擺動(dòng)情況，2個(gè)單軸位移干涉儀檢測(cè)一個(gè)兩軸位移平臺(tái)的運(yùn)動(dòng)情況。
下述是為國(guó)內(nèi)某研究所某項(xiàng)目設(shè)計(jì)的ZLM800測(cè)量系統(tǒng)。用戶預(yù)先把被測(cè)物體放置在密閉箱中，密閉箱留有觀察窗口。所需要測(cè)量的數(shù)據(jù)是被目標(biāo)Ⅰ、被目標(biāo)Ⅱ的X、Y向的角度變化量，以及這兩個(gè)目標(biāo)在Z方向的相對(duì)變化量。.jpg)
ZLM800部分光路圖示例和部件示意圖
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