| 在德國(guó)，耶拿地區(qū)以生產(chǎn)蔡司光學(xué)產(chǎn)品而聞名。位于該地區(qū)的耶拿爾（JENAer）公司生產(chǎn)的ZLM700雙頻激光干涉儀在同類產(chǎn)品中，由于具有的性能優(yōu)勢(shì)和簡(jiǎn)單的操作方法而久負(fù)盛名。由本公司代理，德國(guó)耶拿爾JENAer公司生產(chǎn)的雙頻激光干涉儀是真正意義上的雙頻干涉儀，并非單頻干涉原理。 產(chǎn)品功能 定位、重復(fù)定位、位移距離測(cè)量、速度加速度測(cè)量、線性度、直線度、垂直度、平面度、偏擺角、俯仰角、滾動(dòng)角、角速度、圓形軌跡、微振動(dòng)測(cè)量等，還能夠測(cè)量數(shù)控機(jī)床的回轉(zhuǎn)量等，從而實(shí)現(xiàn)定位、校準(zhǔn)、控制和補(bǔ)償。ZLM700主要用于單軸系統(tǒng)的校準(zhǔn)和測(cè)量，廣泛應(yīng)用于動(dòng)態(tài)加工工藝中的機(jī)械定位和系統(tǒng)控制。 性能優(yōu)勢(shì) l真正意義上的雙頻激光干涉儀，頻差為640MHz。請(qǐng)用戶注意“激光干涉儀”和“雙頻激光干涉儀”的區(qū)別。眾所周知雙頻激光干涉儀更好、性能更穩(wěn)定。世界范圍內(nèi)只有兩家雙頻激光干涉儀的生產(chǎn)商，德國(guó)耶拿爾公司是其中的一家。 l部件皆在德國(guó)生產(chǎn)制造，非為了降而在第三方進(jìn)行部件加工。光學(xué)組件采用蔡司光學(xué)鏡，是世界上一家將的蔡司光學(xué)鏡用于激光干涉儀領(lǐng)域的產(chǎn)品制造商。 l測(cè)量系統(tǒng)采用模塊化設(shè)計(jì)，各種測(cè)量功能之間互不影響。若用戶先期要干涉儀的部分功能（如測(cè)量直線度），則采購(gòu)所需功能部分的光學(xué)部件（直線度光學(xué)鏡），其他不需要的功能暫時(shí)可以不采購(gòu)；若后期有其他功能的需求，補(bǔ)充采購(gòu)功能對(duì)應(yīng)的部件即可。 l 激光器壽命更長(zhǎng)，可達(dá)20000小時(shí)，激光穩(wěn)頻高，一小時(shí)內(nèi)為±0.002ppm，在產(chǎn)品壽命內(nèi)可達(dá)±0.02ppm。 l干涉鏡采用差分干涉原理，系統(tǒng)更高，可達(dá)±0.4ppm。 l計(jì)算機(jī)輔助光路調(diào)整，調(diào)整結(jié)果更準(zhǔn)確。 l 采樣頻率更快，達(dá)1MHz，可在0.001Hz-1MHz之間進(jìn)行選擇。 l 被測(cè)物體速度16m/s（可選）；采用高AE950 PCI數(shù)據(jù)處理器，分辨率達(dá)0.6nm（當(dāng)移動(dòng)速度為1m/s時(shí)，線性分辨率更可為0.1nm）。 l無(wú)加速度限制；當(dāng)光線微弱時(shí)，性能也十分穩(wěn)定。 l信號(hào)<200ns；對(duì)電磁干擾不敏感。 l對(duì)于多軸聯(lián)動(dòng)的復(fù)雜光路測(cè)量和微位移測(cè)量，請(qǐng)選用ZLM800型雙頻激光干涉儀，多可實(shí)現(xiàn)六軸聯(lián)動(dòng)。 工作原理 型ZLM700激光干涉儀使用氦氖激光器，采用雙頻外差式工作模式。激光穩(wěn)頻為+/-0.002ppm，640MHz的頻差用于信號(hào)處理。這種高頻處理信號(hào)能夠?qū)ξ矬w進(jìn)行測(cè)量，不會(huì)出現(xiàn)干擾誤差，信號(hào)時(shí)間短。 采用光纖電纜，把來(lái)自干涉鏡的信號(hào)傳輸?shù)接?jì)算機(jī)卡槽連接的電子計(jì)數(shù)器上，避免了外部電磁環(huán)境對(duì)測(cè)量信號(hào)的干擾。因此，ZLM700雙頻激光干涉儀適用于惡劣的生產(chǎn)環(huán)境、標(biāo)準(zhǔn)化實(shí)驗(yàn)室和高真空環(huán)境。 技術(shù)參數(shù)
與歐洲某品牌激光干涉儀的參數(shù)對(duì)比
ZLM700部分應(yīng)用的光路圖  |
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